Напыление

Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (10-800 л/с)

Гибридные турбонасосы на магнитном подвесе серии АТН-М

Вакуумметры Pfeiffer-Vacuum

Аналоговые вакуумметры

• Диапазон измерения давлений от 10^-11 до 55 000 мбар
• Компактная конструкция
• Легкая интеграция
• Выходной сигнал 0 - 10 В с сигналом об ошибке
• Выбор единиц измерений

Серия DigiLine

• Передача данных через цифровые сигналы
• Возможность выбора интерфейса RS-232/485
• Свободное комбинирование компонентов системы
• Вывод данных непосредственно на ПК
• Простота в калибровке и подключении

Серия ModulLine

• Прочная, принципиально не поддающаяся воздействию радиоактивности и электромагнитных полей конструкция
• Используется на всех крупных ускорителях
• Четыре различные опции интерфейса (в том числе и Profibus)
• Датчики с металлическим уплотнением

Вакуумметры MKS Instrument

цифровые и аналоговые для измерения вакуума от 10^-11 торр до атмосферного давления

• пьезо
• пирани
• конвекционные пирани
• ионизационные (горячий катод)
• магниторазрядные (холодный катод)
• комбинированные вакуумметры

Мощные безмасляные форвакуумные насосы промышленного применения – серия ACP 120 и ACG 600
Для откачки объёмов от 1 до 10 и более м³

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 560 м³/ч и с предельным разрежением до 9*10^-4 мбар.

Откачные агрегаты на основе насосов Рутса - серия CombiLine

• Предельное разрежение 5*10^-4 мбар
• 5 различных исполнений, в том числе и полностью безмасляные
• Идеальное решение для откачки больших объемов
• Обслуживание по месту установки по всему миру
• Более 50 лет опыта в металлургии

Гелиевые течеискатели

Работа при помощи одной кнопки - сверхпростота в эксплуатации
Надежная конструкция - надежность и долговечность
Модульный дизайн - возможность применения решений в зависимости от задачи
Интерфейсы (DI / DO, AO, RS-232 C, RS-485) - простота встраивания в системы управления
Проверенный и высоконадежный анализатор - минимальные эксплуатационные затраты
Универсальные - течеискатели работают как вакуумным методом, так и методом щупа

Компактная серия HPQ2/HPQ2S специально разработана для газового анализа процессов с повышенным рабочим давлением до 10^-2 мбар. Чувствительность масс-спектрометра идеально подойдет, в тех случаях, где нет высоковакуумной системы откачки.

• Диапазон измеряемых масс: 2-80 а.е.м.;
• Максимальное рабочее давление:
• HPQ2 - 1х10-3 Торр (1,3х10-3 мбар)
• HPQ2S - 8х10-3 Торр (1,0х10-3 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 5х10^-5 А/Торр;
• Температура отжига: 250 оС (без электронной части).