Устройство MTF MASTER IIT было разработано для определения качества ЭОП по объективному критерию ЧКХ (Частотно-контрастная характеристика). Объект (визирный крест) проектируется через проекционную оптику на фотокатод ЭОП. Изображение этого объекта на экране электронно оптического преобразователя (ЭОП) оценивается при помощи системы обработки изображений высокого разрешения и соответствующего программного обеспечения. Чтобы гарантировать точность измерения ЧКХ ЭОП, имеется калибровочная функция для анализирующей группы и внутренней калибровки яркости осветительной установки.

Электронно Оптический Преобразователь - принцип установки
У всех 6 моторизованных осей разрешение составляет 1µm. В режиме корректировки управляются джойстиком, в режиме измерения - автоматически при помощи ПО. Устройство MTF-MASTER IIT состоит из 4-х компонентов:
• Модуль освещения с плавно регулируемой и управляемой программным обеспечением интенсивностью света;

• IIT-монтажная единица (3 моторизованных оси,
управляемых ПО) с регулируемым источником питания постоянного тока (низкое и высокое напряжение);

• Объектный генератор с сеткой и оптикой проекции высокого разрешения;

• Анализирующий модуль (измерительный микроскоп с LWD объективом; 3 моторизованных оси,
управляемых ПО).

Технические параметры ЭОП

MTF точность / воспроизводимость

±0,04 / ±0,02

Направления измерения

Горизонтальное / вертикальное

Принципы измерения

Анализ изображения канта / линии; Горизонтальное / вертикальное

Диапазон частот

0…..200 штр/мм

Разрешение проекционной оптики

20% @ штр/мм

Рабочее расстояние

＞30 мм

Позиционирование плоскости объекта

1 моторизованная ось, 25 мм перемещение, 1µm разрешение, 10µm точность позиционирования

Источник света

Вольфрам-галогенная лампа 20W, t 2856±50°K (низший уровень освещённости 10-3  Lux, интенсивность света постоянно регулируется)

Интегрирующая сфера

Примерно O150 мм

Оптика анализатора изображения

10х - высококачественная микроскопическая оптика

Позиционирование блока измерения

Моторизованный модуль (оси Х, Y; управление: джойстик / клавиши ПО), 25 мм перемещение, точность позиционирования 10µm, разрешение 1µm

Максимальный диаметр поля измерения

25 мм

Тип измерения MTFобъект / изображение

Конечный / Конечный

Габаритные размеры установки (~)

ДхШхВ 1800х600х700 мм

Ширина перекрытия (плоскость фотокатода)

2 µm

Тип сетки

Визирный крест