О компании

+7 (495) 781 39 39

Контакты

Отправить запрос

+7 (495) 781 39 39

Отправить запрос

Отправить запрос

Скачать документацию

Вакансии

Наши проекты

Главная/Вакуумная техника/MKS Instruments/Измерители и регуляторы расхода газовых сред (РРГ)/Встраиваемый газовый блок измерения нарастания газового потока

Встраиваемый газовый блок измерения нарастания газового потока

GBROR^® Gas Box Rate-of-Rise In Situ Flow Verifier
	GBROR увеличивает производительность, производя точную и своевременную диагностику и проверку регулятора расхода газа во время процесса или во время регламентного обслуживания установки. Процессы, которые выигрывают от использования GBROR: CVD, травление и другие процессы, требующие жесткого контроля расхода газа в диапазоне от 2 sccm до 50 slm. По сравнению с приборами "в камере", которые часто имеют значительные колебания из-за неконтролируемой температуры и состояния поверхности, GBROR обеспечивает высокий уровень достоверности и воспроизводимости. Другие преимущества - это независимость от рода газа, нечувствительность к загрязнению, гибкость и простота установки.

GBR3B Tru-Flo Mass Flow Verifier
	*Большое время работы системы* Проверка на месте потока газа без снятия регуляторов расхода газа Более короткое время измерения по сравнению с любыми другими методами Быстрая и эффективная диагностика и поиск неисправностей *Улучшенное управление процессами* Точное определение газового потока 1% от ИВ Широкий диапазон измерений (до 5000 sccm) Нет рисков загрязнения газовых линий при снятии РРГ Tru-Flo Mass Flow Verifier является интегрируемым диагностическим инструментом, который обеспечивает проверку на месте массового регулятора расхода газа в полупроводниковых установках. Tru-Flo измеряет скорость нарастания давления в известном объеме при известной температуре, чтобы определить массовый расход в пределах ± 1% от измеряемого значения. Он состоит из небольшого объема, высокоточного датчика давления Баратрон, запорных клапанов и управляющей электроники, которые объединены в одном компактном корпусе. Tru-Flo может быть легко включен в газовую панель установки и соединен с компьютером через RS-232 интерфейс.

+7 (495) 781 39 39

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Copyright © 2007 - 2024 ООО "БЛМ Синержи"

Мегагрупп.ру

О компании

Контакты

Вакансии

Скачать документацию