Высокочастотные генераторы плазмы серии GHW

Серия ВЧ генераторов плазмы GHW - идеальное решение для PECVD, HDPCVD и процессов травления.

Характеристики

МОДЕЛЬ	GHW-12	GHW-25	GHW-50
Частота	13,56 МГц
Стабильность частоты и точность	±0,005%
Выходная мощность и точность
Динамический диапазон	10-1250 Вт	10-2500 Вт	10-5000 Вт
Точность поддержания	> 125 Вт: ±1,5% уставки < 125 Вт: ±3 Вт	> 250 Вт: ±1,5% уставки < 250 Вт: ±6 Вт	> 500 Вт: ±1,5% уставки < 500 Вт: ±10 Вт
Защита при не согласованной нагрузки	автоматическая: отдаваемая мощность ограничивается в течение 0,25 мс в случае если отраженная мощность достигает запрограммированного уровня
Защита при не согласованной нагрузки	≤16% от номинальной мощности	≤20% от номинальной мощности
Выходная мощность при КСВН
1,1:1	1250 Вт	2500 Вт	5000 Вт
2:1	1000 Вт	2000 Вт	3250 Вт
3:1	650 Вт	1500 Вт	2000 Вт
Требования
Охлаждение	водяное
Рабочая температура	5-35^оС
Интерфейс
Цифровой	RS232
Аналоговый	25-pin
Размеры и комплектация
Размер	3,5"x19"x20" 89x483x508 мм	5,25"x19"x20,5" 133x483x521 мм	8,72"x19"x22,1" 221x483x560 мм
ВЧ-разъём	N-тип	N-тип	HN-тип
Вес	14,8 кг	24,9 кг	41,3 кг

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру