Гибридные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии ATP-M (для откачки лёгких газов)

Насос ATP2300M это высокопроизводительное решение, применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 3000 см³/мин по азоту). Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:

ионная имплантация
HDPCVD процессы
напыление
напыление тонкоплёночных покрытий
научные исследования и прочее

Особенности и преимущества

высокое среднее время наработки на отказ
низкий уровень шума и вибраций
абсолютно безмасляный вакуум
компактные размеры
магнитный подвес не требующий обслуживания
установка в любой ориентации
регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
модификация со встроенным контроллером

Технические характеристикит турбомолекулярного насоса ATP-M

Характеристика		ед. изм.	ATP 2300M
Присоединительный фланец			DN200 ISO F, CF	DN250 ISO F, CF
Скорость откачки по	N₂	л/сек	1250	1750
	Ar		1200	1650
	He		1700	1800
	H₂		1700	1700
Степень сжатия по	N₂		10⁸
	Ar		10⁸
	He		10⁵
	H₂		7*10³
Частота вращения		об/мин	31 000
Минимальное остаточное давление		мбар	10^-9
Макс. давление на входе			0,05
Макс. давление на выхлопе			1,5
Расход воды на охлаждение		л/час	60
Габаритные размеры	высота	мм	290
	диаметр		315
Масса		кг	52

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру