Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace 350 / 450

HiPace 350 и 450 обеспечивают высокую производительность, несмотря малый вес и небольшие размеры.

Основанные на гибридном подшипнике, комбинации керамического шарикоподшипника на стороне форвакуума и радиальных подшипников с постоянным магнитом на стороне высокого вакуума, эти турбонасосы HiPace обладают особо прочной конструкцией подшипника, которая обеспечивает максимальную надежность.

Экономически эффективный
Инновационная конструкция ротора турбонасоса обеспечивает исключительную скорость откачки легких газов, полную совместимость с резервными насосами и высокую пропускную способность газа, а также превосходное сжатие легких газов. Это обеспечивает высокую степень экономичности и гибкости, поскольку насосы могут устанавливаться в любом положении.

Множество интерфейсов
Встроенный электронный привод HiPace обеспечивает широкий спектр коммуникационных интерфейсов, включая ProfiNet и EtherCAT, без увеличения размера. Функции дистанционного управления позволяют анализировать данные насоса для оптимального контроля процесса во время работы. Бесшумная работа и улучшенная производительность по газу устанавливают новые стандарты в вакуумной промышленности. Насосы сертифицированы на соответствие стандартам Semi-S2, UL, CSA и Nema 12.

Оптимизированная конструкция подшипника
Техническое обслуживание и замена подшипников могут быть выполнены на месте, на территории заказчика. Насосы не требуют технического обслуживания в течение 5 лет.

Преимущества

• Компактный и мощный
• Скорость откачки до 380 л/с
• Исключительная скорость откачки легких газов.
• Максимальная надежность
• Экономичный и гибкий
• Тихая работа
• Semi-S2, UL, CSA и IP54 / Nema12

Скорость откачки

Технические данные HiPace 350

		HiPace 350 с TC 110	HiPace 350 с TC 120	HiPace 350 с TC 400	HiPace 350 с TC 120	HiPace 350 с TC 400
Соединительный фланец	всасывания	DN 100 ISO-K			DN 100 CF-F
	выхлопа	DN 16 ISO-KF / G 3/8“
Вентиляционное соединение		G 1/8“
Скорость откачки	N2	300 л/с
	H2	300 л/с
	He	350 л/с
	Ar	270 л/с
Скорость ± 2%		66 000 мин-1
Пропускная способность газа при полной скорости вращения	N2	2 мбар л/с
	H2	11 мбар л/с
	He	7 мбар л/с
	Ar	0,7 мбар л/с
Степень сжатия	N2	> 1 · 1011
	H2	2 · 106
	He	> 1 · 108
	Ar	> 1 · 1011
Форвакуум макс.	N2	10 мбар
	H2	6 мбар
	He	10 мбар
	Ar	10 мбар
Конечное давление		≤ 1 · 10-7 гПа			≤ 5 · 10-10 гПа
Вес		7,2 кг	7,2 кг	7,8 кг	10 кг	10,6 кг
Тип охлаждения	стандартно	Конвекционный
	опционально	Воздух / вода
Охлаждающая вода	скорость потока	100 л/ч
	температура	15 – 25 °C
Шумность		≤50 dB(A)
Ориентация монтажа		любая
Рабочее напряжение		24 В (±5 %)	48 В (±5 %)	24 / 48 В  (±5 %)	48 В (±5 %)	24 / 48 В  (±5 %)
Время на запуск		5,3 мин	4 мин	4 / 2 мин	4 мин	4 / 2 мин

Технические данные HiPace 450

		HiPace 450 с TC 110	HiPace 450 с TC 120	HiPace 450 с TC 400	HiPace 450 с TC 120	HiPace 450 с TC 400
Соединительный фланец	всасывания	DN 160 ISO-K			DN 160 CF-F
	выхлопа	DN 16 ISO-KF / G 3/8“
Вентиляционное соединение		G 1/8“
Скорость откачки	N2	380 л/с
	H2	330 л/с
	He	380 л/с
	Ar	350 л/с
Скорость ± 2%		66 000 мин-1
Пропускная способность газа при полной скорости вращения	N2	2 мбар л/с
	H2	11 мбар л/с
	He	7 мбар л/с
	Ar	0,7 мбар л/с
Степень сжатия	N2	> 1 · 1011
	H2	2 · 106
	He	> 1 · 108
	Ar	> 1 · 1011
Форвакуум макс.	N2	10 мбар
	H2	6 мбар
	He	10 мбар
	Ar	10 мбар
Конечное давление		≤ 1 · 10-7 гПа			≤ 5 · 10-10 гПа
Вес		7 кг	7 кг	7,6 кг	11,5 кг	12,1 кг
Тип охлаждения	стандартно	Конвекционный
	опционально	Воздух / вода
Охлаждающая вода	скорость потока	100 л/ч
	температура	15 – 25 °C
Шумность		≤50 dB(A)
Ориентация монтажа		любая
Рабочее напряжение		24 В (±5 %)	48 В (±5 %)	24 / 48 В  (±5 %)	48 В (±5 %)	24 / 48 В  (±5 %)
Время на запуск		5,3 мин	4 мин	4 / 2 мин	4 мин	4 / 2 мин