Модель |
179D |
579B |
180A |
ВП в азотном эквиваленте |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm |
50, 100, 200, 300 slm |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm |
Диапазон измерения |
от 1% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
Точность |
±1% от ВП |
±1% от ВП |
±1% от ИВ для диапазона |
Воспроизводимость |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
Изображение |
|
||
Скачать |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |