Регулятор расхода газа (РРГ)

Расходомер потока газа и регулятор расхода газа (РРГ) от MKS Instruments

На рисунке представлен универсальный регулятор расхода газа (РРГ) в разрезе.

Данные приборы обеспечивают измерение и регулирование расхода газа с точностью от 1% до 0,5% от верхнего предела (ВП) в диапазоне от 0,001 стандартных см³/мин до 300 стандартных л/мин. Массовый расход газа определяется в единицах объёмного расхода при стандартных условиях: температуре 0°С и давлении 1 атм, т.е. прибор всегда измеряет расход газа в приведённых к стандартным условиям единицах объёма, что однозначно соответствует массовому расходу газа. Приборы изготавливаются и калибруются в соответствии с нормами ISO 9001.

В отличие от ротаметров, турбинных расходомеров и других устройств измерения, расходомеры потока газа компании MKS Instruments определяют непосредственно массовый расход. Точность и повторяемость их измерений не зависит от изменения температуры и давления газа на входе в прибор.

Расходомер потока газа включают в себя первичный блок (измеритель/регулятор расхода газа), вторичный блок (электронный модуль) и соединительные кабели.

	Регуляторы расхода серии GE50A с эластомерным уплотнением Расход от 5 до 50 000 ст.см3/мин Варианты уплотнения и плунжера клапана из витона, буны, неопрена или калреза Время срабатывания менее 750 миллисекунд
	Измерители расхода газа • 179D - полностью металлический • 180A - цифровой полностью металлический • 579B - на большие потоки до 300 slm
	Регуляторы с эластомерными уплотнениями • 1179D - классический РРГ • 2179D - РРГ с отсечным клапаном • 1579B - РРГ на большие потоки до 300 slm
	Регуляторы с металлическими уплотнениями • 1479D - универсальный регулятор расхода газа (РРГ) • 1480A ALTA - цифровой • MC20 ALTA - цифровой высокоточный • P4B - цифровой, программируемый • PFC-20 πMFC - цифровой, для процессов с низким перепадом давления • PFC-50 πMFC - цифровой
	Регуляторы на основе перепада давления • Серия 1640A - полностью металлический, использующий принцип измерения перепада давления • Серия 1150C - применяется принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через диафрагму • Серия 1152C - применяется принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через трубку с ламинарным потоком • Серия VoDM - Модуль подачи водяного пара
	Контролер регулирования соотношения потоков • Серия DELTA II

Электронные блоки питания и индикации

Данные блоки предназначены для электрического питания измерителей/регуляторов расхода газа и для индикации текущего потока. Большинство блоков запитываются напряжением 220 В. Одноканальные блоки работают с одним датчиком, многоканальные - с несколькими одновременно.

Измеритель расхода газа

Классическая методика предполагает наличие одной нагревательной и двух измерительных обмоток, включенных в плечи одного измерительного моста. Напряжение, получаемое с измерительных обмоток, будет обратно пропорционально расходу газа.
Запатентованная методика компании MKS Instruments состоит в следующем. Нагревательные обмотки расположены на сенсорной трубке с ламинарным течением газа. Напряжение, необходимое для поддержания постоянного температурного профиля в этой трубке, пропорционально расходу газа через эту трубку. Каждая обмотка включена в плечи моста, дисбаланс которого при наличии расхода газа компенсируется поступлением в него количества энергии, прямо пропорционального по величине массовому расходу газа.

Расходомер потока газа имеет следующие преимущества:

• Высокая динамика. Время отклика сенсора на изменение расхода - менее 500 мс, что обеспечивает оперативное регулирование без колебательного процесса.
• Простой и надежный модуль обработки сигнала. Снимаемое с сенсора напряжение прямо пропорционально расходу, что не требует линеаризации сигнала, как в классической методике.
• Минимальное влияние изменения температуры окружающей среды на сенсор, т.к. вся его трубка находится в кожухе, где поддерживается постоянная температура (температурное регулирование).
• Возможно измерение/регулирование расхода вплоть до 140% от ВП (однако в этом случае возможно снижение точности работы прибора)

Как правильно заказать измеритель или регулятор расхода газа (РРГ)

Для заказа большинства моделей вам необходимо учесть:
Верхний предел измерения по азоту в ст.см³/мин (sccm) или в ст.л/мин (slm) из предлагаемого ряда.

Диапазон рабочих температур
Стандартный диапазон: 15 - 45°C. Имеются модели, работающие при повышенных температурах. При заказе уточните необходимый вам диапазон рабочих температур.

Выходной сигнал
Вы можете выбрать прибор с аналоговым выходным сигналом 0..5 В, либо прибор с дополнительным цифровым интерфейсом RS 485, Device Net или Profitbus, USB.

Штуцеры
Вы можете выбрать Swagelok 1/4", Cajon 4 VCR, Cajon 4 VCO, а для моделей на большие расходы - Swagelok 1/2", Cajon 8 VCR, Cajon 8 VCO. Подумайте, есть ли у вас подходящая арматура для этих штуцеров. Вы можете заказать ее вместе с нашим оборудованием.

Уплотнения
Компания MKS Instruments предлагает несколько видов уплотнений для газов различной степени агрессивности: Viton, Neoprene, Buna-N, Kalrez. Существуют полностью металлические приборы. Если вы не уверены в своем выборе, сообщите нам, с какими газами вы работаете, и мы поможем вам сделать правильный выбор.

Кабели
При покупке регуляторов и расходомеров необходимо предусмотреть закупку соединительных кабелей между этими датчиками и их электронными блоками. Компания "MKS" предлагает кабели стандартной длины 3 м. Если вам необходима другая длина кабеля, укажите ее в вашем заказе.

Монтаж
Компания "MKS Instruments" рекомендует монтировать регуляторы и расходомеры в горизонтальном положении (горизонтальная линия протока).
При использовании приборов на газовых линиях, питающихся напрямую от баллона с газом, или при использовании сомнительных по чистоте баллонов (даже с установленным фильтром грубой очистки) рекомендуется установить перед прибором защитный фильтр (ячейка 1..10 мкм) для предотвращения его закупоривания.

Выбор верхнего предела в зависимости от рода газа
Все приведенные ниже характеристики расходомеров и регуляторов расхода газа даны для приборов, калиброванных по азоту. При работе с иными газами для правильного выбора ВП прибора необходимо учесть коэффициент коррекции рода газа (ККРГ).

Пример 1. Необходимо регулировать массовый расход газа СО₂ в диапазоне до 100 ст.см³/мин.
Определяем ВП в азотном эквиваленте, используя коэффициент коррекции рода газа (ККРГ), который для СО₂ равен 0,74.
100 (ст.см³/мин) /0,74 = 135 ст.см³/мин в азотном эквиваленте.
Наиболее близкий сверху ВП для регулятора 1259 будет 200 ст.см³/мин.
Пример 2. Дан расходомер с ВП, равным 1000 ст.см³/мин, измеряющий расход азота.
Каков будет максимальный измеряемый расход (ВП) по аргону?
ККРГ для аргона К=1,45.
1000 ст.см³/мин х 1,45= 1450 ст.см³/мин по аргону.

ПРИМЕЧАНИЕ: если ваш рабочий газ имеет плотность большую, чем азот (1,25 кг/м³ при 0°C), необходимо дополнительно уточнить у представителей компании рекомендации по выбору ВП.

Таблица значений коэффициентов коррекции рода газа (ККРГ) - Скачать PDF или посмотреть на сайте MKS:
http://www.mksinst.com/docs/ur/MFCGasCorrection.aspx

В компании "БЛМ Синержи" вы можете заказать расходомер потока газа с доставкой в любой регион России.