Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Компактные высокопроизводительные насосы Pfeiffer Vacuum A 100 L и A 200 L

Интегрированные легкие технологические насосы с компактными размерами были разработаны для гибкой интеграции в производстве полупроводников. Разработанная для установки непосредственно на приборе и быстрого откачивания, эта серия компактных насосов для легких применений является идеальным решение для загрузочных и передаточных камер, а также для других неагрессивных применений.

Новое решение для приложений с высокой пропускной способностью

Pfeiffer Vacuum вновь демонстрирует свое мировое лидерство на рынке интегрированных безмалсяных насосов и представляет насос A 200 L, новый продукт класса 200 м3/ч для высокопроизводительных применений. С классом 100 м3/ч, A 100 L и классом 200 м3 / ч, A 200 L, Pfeiffer Vacuum предлагает полный ассортимент для любых применений в легких условиях.

Pfeiffer Vacuum A 100 L

• Высокая производительность
• Надежный и энергоэффективный
• Низкий уровень вибрации и шума
• Система Plug and Play: встроенный мониторинг
• Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Цена
По запросу
Подробнее
Pfeiffer Vacuum A 200 L

• Высокая производительность
• Надежный и энергоэффективный
• Низкий уровень вибрации и шума
• Система Plug and Play: встроенный мониторинг
• Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Подробнее

Преимущества
• Высокая пропускная способность
• Космпактные размеры
• Оптимизированная сборка
• Низкая стоимость владения

Приложения
• Нагрузочные и передаточные камеры
• Производство полупроводников
• Фотоэлектрические

Интегрированные насосы устанавливают стандарты
С момента появления на рынке насосов A 100 L, они произвели революцию в интеграции насосов в производственных помещениях для полупроводниковой промышленности. Основанные на технологии безмасляных многоступенчатых насосов рутса и несмотря на их небольшую площадь, встроенные насосы предлагают высокую скорость откачки и короткое времена простоя насоса. На сегодняшний день встроенные насосы для легких условий эксплуатации являются современными, и серия A100 установлена по всему миру во многих 300-мм полупроводниковых фабриках.

Интегрированные насосы для блокировки нагрузки и передаточных камер
В легких приложениях, таких как блокировка нагрузки и раздаточные камеры, эти насосы исключают влияние вакуумной линии в насосных установках. Затраты на монтаж вакуумных линий, интеграцию и ввод в эксплуатацию снижаются благодаря использованию встроенных насосов. Насосы обеспечивают воспроизводимую производительность во время производства и энергоэффективны. Высокая надежность и долговременная стабильность отличают встроенные насосы.

Интегрированные насосы - не только для полупроводниковой промышленности
Благодаря сухому и не содержащему частиц вакууму, короткому времени простоя и высокой скорости откачки, встроенные насосы будут оптимальным решением для фотоэлектрического оборудования. Низкий уровень шума и вибрации являются дополнительными преимуществами серии с водяным охлаждением. Малые габариты гарантируют простую интеграцию в производственные мощности.