Контролер регулирования соотношения потоков

DELTA II Flow Ratio Control
	*Оптимизация процессов посредством четкого распределения потока* Оптимизация производительности процесса стала проще с использованием DELTA - регулятора соотношения потоков. Он широко используется в различных применениях, где требуется разделение потоков, таких как травление, стриппинг и PECVD. DELTA предоставляет пользователям возможность распределять газ или смеси газов в две разные зоны в рабочей камере. Подаваемый в DELTA газ или любая газовая смесь разделяется автоматически на два отдельных выходных канала согласно заданному соотношению.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)

Мегагрупп.ру