DELTA II Flow Ratio Control | |
![]() |
Оптимизация процессов посредством четкого распределения потока Оптимизация производительности процесса стала проще с использованием DELTA - регулятора соотношения потоков. Он широко используется в различных применениях, где требуется разделение потоков, таких как травление, стриппинг и PECVD. DELTA предоставляет пользователям возможность распределять газ или смеси газов в две разные зоны в рабочей камере. Подаваемый в DELTA газ или любая газовая смесь разделяется автоматически на два отдельных выходных канала согласно заданному соотношению. |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Этот сайт использует cookie-файлы и другие технологии для улучшения его работы. Продолжая работу с сайтом, Вы разрешаете использование cookie-файлов. Вы всегда можете отключить файлы cookie в настройках Вашего браузера.