LAM TCU 20/80

Морозильные установки Trillium серия LAM

Морозильная установка LAM TCU 20/80 – это двухканальное терморегулирующее устройство, используемое в основном на камерах травления серии LAM 4000. Морозильники 20/80 были разработаны для обеспечения независимого температурного контроля верхних и нижних электродов камеры с помощью одной морозильной установки, работающей на смеси гликоля и ДМ (деминерализованной) воды.
Компания Trillium предоставляет весь спектр услуг, а также восстановленные установки 20/80 с поддержкой клиентов по всему миру. Получая оригинальные запчасти напрямую у компании LAM, компания Trillum имеет возможность предоставлять поддержку на экспертном уровне всему парку существующих установок 20/80.

Эксплуатационные характеристики Lam 20/80

TCU 20/80 Channel	Температурный диапазон	Расход при 20^оC/60 psi	Охлаждение -15^оC (Ватт)	Охлаждение при -20^оC	Объем емкости
Верхний	от +15 ^оC до +80 ^оC	3GPM	750	1000	5 Gallons
Нижний	от -20 ^оC до +80 ^оC	3GPM	-	1000	5 Gallons

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру