Продукция компании MKS Instruments в России

Широкий ассортимент мощных, универсальных и проверенных решений на основе масс-спектрометрии для непрерывного газового анализа в режиме реального времени в диапазоне от 1...6 a.e.m. до 1...300 a.e.m. в вакуумных и атмосферных условиях.

Вакуумметры

Цифровые и аналоговые вакуумметры для измерения вакуума от 10^-11 торр до атмосферного давления

• Пьезо
• Пирани
• Конвекционные пирани
• Ионизационные (горячий катод)
• Магниторазрядные (холодный катод)
• Комбинированные вакуумметры

Баратроны

Датчики бсолютного, дифференциального или избыточного давления

• Измерения не зависят от рода газа
• Диапазон верхних пределов измерений от 20 мТорр до 25000 Торр
• Точность до 0,05% от измеряемой величины
• Внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ

Газоанализаторы

Для контроля состава среды (более 30 газов) в режиме реального времени с чувствительностью до 10 ppb.

Измерители и регуляторы расхода газовых сред

Вверхний предел от 1 sccm до 300 slm (ст.л/мин)

• Точность, воспроизводимость и надежность измерений
• Модели для агрессивных сред
• Модели с цифровыми интерфейсами

Системы регулирования расхода газов и поддержания давления

Компания MKS Instruments - лидер в производстве автоматических систем регулирования давления на входе или на выходе вакуумной камеры.

• Высокая точность
• Короткое время отклика
• Надежность работы

Высокочастотные генераторы плазмы и генераторы постоянного тока

• Высокочастотные генераторы и генераторы постоянного тока
• Импульсные источники для плазменных технологий

HPS Вакуумная арматура и аксессуары

• Вакуумная арматура
• Клапаны
• Прогреваемые линии
• Ловушки

Калибровочные установки

Внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ. Обеспечивают высочайшие точностные характеристики:

• По давлению от 10^-7 мм.рт.ст. до 25 бар
• По расходу от 1 sccm до 200 slm