Анализатор остаточных газов общего назначения e-Vision 2

Анализ остаточных газов (АОГ) является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

E-Vision 2 подходит для широкого спектра применений:
• Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах
• Диагностика вакуума
• Мониторинг откачки
• Мониторинг качества отжига
• Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере
• Мониторинг загрязнений в камере
• В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки

Оборудование

Сенсор
Проверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10^-14 мбар.

Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.

Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.

Технические параметры

Анализатор
Область масс	1-100 или 1-200 а.е.м.
Детектор	чаша Фарадея или чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов)
Макс. рабочее давление, мбар	1,3e-4 мбар
Чувствительность ионного источника	2e-4 А/мбар
Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея	2,6 · 10⁻¹² гПа
Метод сбора данных	Специализированный процессор для сбора данных в режиме реального времени
Макс. скорость сбора данных	<3 мс на точку для аналоговых сканирований
Соединительный фланец	DN 40 CF-F
Рабочая температура	10-40°C

Скачать буклет e-Vision 2 (En)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру