Анализатор остаточных газов общего назначения e-Vision 2

Анализ остаточных газов (АОГ) является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

E-Vision 2 подходит для широкого спектра применений:
• Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах
• Диагностика вакуума
• Мониторинг откачки
• Мониторинг качества отжига
• Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере
• Мониторинг загрязнений в камере
• В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки

Оборудование

Сенсор
Проверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10^-14 мбар.

Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.

Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.

Easy view
Это программное обеспечение с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:

запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
графическое представление данных с комментариями
управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения

Технические параметры

Анализатор
Диапазон измеряемых масс	1-100 или 1-200 а.е.м.
Длина фильтра	4" (100 мм)
Детектор	чаша Фарадея или чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов)
Катоды	Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория
Максимальное рабочее давление	110^-4 торр (1,310^-4 мбар)
Чувствительность ионного источника	2*10^-4 А/мбар
Мин. определяемое парциальное давление (накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения)	210^-11 торр (2,610^-11 мбар) чаша Фарадея 510^-14 торр (6,710^-14 мбар) умножитель
Стабильность	±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение	< 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Температура отжига	250 ^оС (без электронной части)
Рабочая температура	200 ^оС (только с чашей Фарадея), температура электроники 10-40 ^оС 150 ^оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 ^оС и давление < 110^-8 мбар 90 ^оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 ^оС и давление < 110^-5 мбар

Скачать буклет e-Vision 2 (En)

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру