Москва:
Новосибирск:

Анализатор остаточных газов общего назначения e-Vision 2

MKS-e-Vision 2-2 Анализ остаточных газов (АОГ) является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

e-Visionvac E-Vision 2 подходит для широкого спектра применений:
• Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах
• Диагностика вакуума
• Мониторинг откачки
• Мониторинг качества отжига
• Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере
• Мониторинг загрязнений в камере
• В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки

Оборудование

Сенсор
Проверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10-14 мбар.

Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.

Встроенное web-приложение
E-Vision2_3Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.

Easy view
E-Vision2_4Это программное обеспечение с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:

  • запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
  • графическое представление данных с комментариями
  • управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения

 

Технические параметры

Анализатор
Диапазон измеряемых масс 1-100 или 1-200 а.е.м.
Длина фильтра 4" (100 мм)
Детектор чаша Фарадея или
чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов)
Катоды Вольфрамовый или
иридиевый, покрытый окисью тория
Максимальное рабочее давление 1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар)
Чувствительность ионного источника 2*10-4 А/мбар
Мин. определяемое парциальное давление
(накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения)
2*10-11 торр (2,6*10-11 мбар) чаша Фарадея
5*10-14 торр (6,7*10-14 мбар) умножитель
Стабильность ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение < 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Температура отжига  250 оС (без электронной части)
Рабочая температура 200 оС (только с чашей Фарадея), температура электроники 10-40 оС
150 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 оС и давление < 1*10-8 мбар
90 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники 10-40 оС и давление < 1*10-5 мбар

000pdf Скачать буклет e-Vision 2 (En)

Цена
По запросу
Запрос стоимости (v)
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Загрузка файла
не более: 5
Комментарий