Москва:
Новосибирск:

Анализатор остаточного газа высокого давления 0,008 Торр HPQ3S

hpq3s_500Анализ остаточных газов (АОГ) HPQ3S позволяет работать до 0,008 Торр без необходимости дифференциальной перекачки. Проверенная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной электроникой Microvision 2 обеспечивает качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. Полученная в результате система является менее сложной, с уменьшенными требованиями к установке, предлагая более высокий уровень надежности при существенно более низкой стоимости. Кроме того, HPQ3S использует проверенные алгоритмы коррекции приложений, чтобы компенсировать изменение чувствительности, возникающее в результате ионно-молекулярных взаимодействий в источнике ионов при более высоких давлениях.

• Верхний рабочий предел полного давления 0,008 Торр
• Поиск течей в вакуумных линиях, трубопроводах охлаждающей жидкости, уплотнениях и сварочных швах
• Применение утвержденных алгоритмов коррекции для компенсации изменения чувствительности
• Проверьте качество технологических газов

Технологическое лидерство АОГ

MKS была первой компанией, предложившей АОГ-совместимость с современными сетевыми установками на базе Ethernet. HPQ3 продолжает эту разработку до уровня, обеспечивающего высочайшую гибкость и возможность подключения благодаря использованию стандартного коммуникационного оборудования и программного обеспечения отрасли. HPQ3 оптимизирует функции, необходимые для сложного датчика, имея два выделенных процессора;

• Оптимизированный, собственный процессор для сбора данных
• Промышленный стандартный процессор операционной системы CE для внешних коммуникаций с использованием проверенной на практике технологии TCP-IP.

Преимущества такого подхода к проектированиюзаключаются в быстром и точном получении данных от надежного датчика АОГ с использованием отраслевых стандартных гибких протоколов связи. HPQ3 также предоставляет полный спектр дополнительных цифровых и аналоговых соединений для интеграции в системы с гибкими недорогими решениями.

Конструкция квадрупольного анализатора высокого давления

Новая РЧ конструкция HPQ3 охватывает диапазон масс 1-100 а.е.м. без ущерба для качества разделения газовых пиков при очень низкой или большой массе. Проверенная на практике конструкция квадрупольного анализатора высокого давления в HPQ3 сохраняет надежную и недорогую конструкцию источника ионов с двойными нитями. Это обеспечивает непрерывную бесперебойную работу без необходимости регулярной замены нитей до истечения их стандартного срока службы. Для особых случаев применения под высоким давлением до 1*10-2 мбар HPQ3S выполняет коррекцию в режиме реального времени, используя манометрическое давление от инструмента или используя различные дополнительные независимые датчики, установленные на специальной F-камере, разработанной для оптимальной работы с HPQ3S.

Регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном

mks-hpq3-Wide Dynamic Запатентованная регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном позволяет обнаруживать одиночные части диаграммы на миллион утечек или загрязнений в камере, даже когда одновременно измеряются основные газовые пики в диапазоне 10-3 мбар. Это возможно при однократном сканировании или пиковом скачке сбора данных с интервалом менее 20 мс между максимальным и минимальным уровнями сигнала и без необходимости в дорогостоящем электронном умножителе, который нуждается в частой калибровке и замене.

• Предотвращает появление больших пиков от ложноположительных измерений на небольших пиках.
• Стабилизированные по температуре критические компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом основной линии позволяют использовать прибор без частой повторной калибровки, если вакуумная камера стабильна, но температура окружающего воздуха колеблется.
• Переменные условия датчика, чтобы соответствовать потребностям каждого процесса в различных условиях давления.
• Каждая оптимизированная конфигурация датчика отдельно сохраняется в АОГ и автоматически вызывается или калибруется по программным рецептам.
• Гибкая цифровая и аналоговая возможность ввода / вывода с выделенным портом датчика в стандартной комплектации.

Встроенное web-приложение
Microvision2_4

Web-интерфейс использующий стандартную для отрасли технологию, позволяет настраивать и управлять HPQ3 из любой точки сети. Использование web-браузера, не зависящего от платформы, позволяет выполнять калибровку, эксплуатацию и сохранение данных в реальном времени в формате экспорта. Используя протокол ASCII и связь TCP-IP, любое стороннее программное обеспечение может отправлять и получать команды и данные от HPQ3 и HPQ3S.

Process Eye Professional

Microvision2_6Комплексная программная платформа на базе Windows, обеспечивающая полный контроль всех параметров АОГ:
• Программируемое управление для гибкости и простоты работы с помощью EasyView recipe и Recipe Wizard
• Возможность подключения к другим системам с помощью разнообразных протоколов Modbus, ASCII, SECS, серийные коммуникации, TCP-IP, файловый обмен и многое другое
• Гибкость в обработке пользовательских данных, проверке условий срабатывания сигнализации и операциях замкнутого контура управления.

TOOLweb RGA

ToolWebRGAScreenCap1_800wСпециализированный пакет программного обеспечения для интеграции «под ключ» (на базе ПК или сервера), обеспечивающий оптимизированные методы получения наиболее достоверной информации от АОГ и других датчиков на технологических инструментах:
• Полная интеграция данных АОГ с работой инструмента и систем FDC
• Уровни запрета от пассивного контроля вакуума инструмента до критического контроля процесса / остановки отдельных технологических камер
• Веб-отчеты предоставляют инженерам-технологам очень ценную информацию, позволяющую инструментам работать с максимальной эффективностью из любой точки сети.

Технические данные

Анализатор
Диапазон измеряемых масс 1-100 а.е.м.
Детектор чаша Фарадея
Катоды Вольфрамовый или
иридиевый, покрытый окисью тория
Макс. рабочее давление 0,008 Торр (0,001 мбар) - зависит от применения
Мин. определяемое парциальное давление 8*10-11 торр (1*10-11 мбар)
Мин. определяемая концентрация 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар)
Стабильность ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение < 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Температура отжига 250 оС (без электронной части)
Материал катода Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория
Рабочая температура температура электроники: 10-40 ° C
Макс. условия работы 80% относительной влажности (без конденсации)
Скорость сбора данных < 3 мс на точку

000pdf Скачать буклет HPQ3S (En)

Цена
По запросу
Запрос стоимости (v)
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Загрузка файла
не более: 5
Комментарий