Анализатор остаточных газов Microvision 2

В течение последнего десятилетия анализ остаточных газов стал надежной технологией, применяемой в автоматизированных процессах управления рабочей средой для обеспечения важной информацией технологов о возникающих в процессах ошибках и для предупреждения о выходе из-под контроля каких-либо параметров.

Microvision 2 - это новейшая инновация в технологии АОГ от MKS, разработанная для удовлетворения всех традиционных требований к датчику АОГ, но с возможностью сбора данных на скоростях, недостижимых с технологиями предыдущего поколения. Кроме того, Microvision 2 предназначен для сбора данных с миллисекундной скоростью на одну точку данных даже при измерении данных во всем динамическом диапазоне АОГ.

• Проверенная на практике конструкция квадрупольного масс-анализатора
• Более быстрые и точные ответы в замкнутых системах управления
• Регистрация данных с большой точностью на высоких скоростях
• Сигналы близкие к уровню шума все еще могут быть надежно измерены

Особенности

Сенсор

Microvision 2 оснащаются двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладает:
• Более высоким сопротивлением к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром
• Более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах)
• Широким выбором ионных источников
• Двойные независимые нити в стандартной комплектации обеспечивают минимальное время простоя при критическом контроле технологического процесса
• Стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальной платой для регистрации парциального давления до 1*10-14 мбар

Сигналы, близкие к уровню шума, все еще могут быть надежно измерены, даже сразу после измерения очень больших сигналов.

Электроника

Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном:

• Препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими
• Температурно сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха
• Изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса
• Настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств
• Гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора

Более быстрые и точные ответы возможны в приложениях с замкнутым контуром управления, где АОГ имеет решающее значение для процесса.

Программное обеспечение

Встроенное web-приложение

Web-интерфейс позволяет управлять Microvision 2, а также осуществлять калибровку, эксплуатацию и экспорт данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.

Используя протокол ASCII и связь TCP-IP, любое стороннее программное обеспечение может отправлять и получать команды и данные от Microvision 2. В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.

Встроенное веб-приложение для управления и сбора данных Microvision 2

Применения

• Полупроводниковая промышленность
• Установки для нанесения крупных покрытий
• Высоковакуумные приложения
• Идеальный выбор для режима работы с высокими (в а.е.м.) массами
• Мониторинг загрязнений в камере
• Работа в жёстких внешних условиях
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки

Microvision 2 устанавливается на синхротронах последнего поколения.
Фото из Diamond Light Source, Великобритания

Гибкость и масштабируемость программного обеспечения

В дополнение к стандартным встроенным веб-приложениям управление программным обеспечением также доступно через три приложения Windows, предлагая наилучшее возможное соответствие требованиям любого клиента.

Easy view - программное обеспечение для АОГ с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение:

запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer
графическое представление данных с комментариями
управление несколькими АОГ с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения

Process Eye Professional - обеспечивает полный контроль всех параметров АОГ:

программируемое управление для гибкости и простоты работы с помощью EasyView recipe и Recipe Wizard
возможность подключения к другим системам с помощью разнообразных протоколов Modbus, ASCII, SECS, серийные коммуникации, TCP-IP, файловый обмен и многое другое
гибкость в обработке пользовательских данных, проверке условий срабатывания сигнализации и операциях замкнутого контура управления

TOOLweb RGA - специальное программное обеспечение, объединяющее компоненты всей установки, предоставляет наиболее надежную информацию о компонентах от АОГ:

полная интеграция данных с работой всей установки и FDC системами
уровни запрета от пассивного мониторинга вакуума до контроля "стоп/запуск" важных процессов в отдельных технологических камерах
подробнейшее предоставление информации для работы установки на максимальной производительности

Параметры

Анализатор	Double (стандартная конфигурация)	5'' Single	Triple
Диапазон измеряемых масс	100, 200, 300 а.е.м.	100, 200 а.е.м.	100, 200, 300 а.е.м.
Максимальное рабочее давление	7,610^-5 Торр (110^-4 мбар)
Чувствительность ионного источника	2*10^-4 А/мбар
Минимальное определяемое парциальное давление (открытый источник ионов)	накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения
Чаша Фарадея	1,510^-11 Торр (210^-11 мбар)
Микроканальная панель	3,810^-14 Торр (510^-14 мбар)
Температура отжига	250 ^оС (без электронной части)
Рабочая температура	• 200 ^оС (только с чашей Фарадея), температура электроники 10-40 ^оС • 150 ^оС (с использованием УВЭ), температура электроники 10-40 ^оС и давление 1х10^-8 мбар • 90 ^оС (с использованием УВЭ), температура электроники 10-40 ^оС и давление 1х10^-5 мбар
Материал катода	Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория
Высоковакуумный ионный источник	Опционально
Скорость дегазации	менее чем 1*10^-9 мбар литр/сек
PVD ионный источник	Опционально	-	Опционально
Ионный источник Cross beam	Опционально	-	Опционально
Разрешение	менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Дрейф положения пика	±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Фланцы	DN 40 CF-F

Скачать буклет Microvision 2 (En)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру