Высокочувствительные масс-спектрометрические системы Vision 2000-C XD/2000-E XD для процесса реактивного напыления и травления

Системы Vision 2000-C XD и Vision 2000-E XD позволяют осуществлять непрерывный контроль широкого спектра полупроводниковых применений, включая полные процессы ALD, CVD и травления, от базового вакуума до рабочих давлений до 700 Торр. Обе системы включают запатентованную технологию V-lens, которая выводит проверенные рабочие характеристики систем Vision 2000-C и Vision 2000-E на новый уровень чувствительности и надежности, ранее недостижимый для обычных систем квадрупольной масс-спектрометрии.

• Контроль во время очистки камеры, пассивации и осаждения
• Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
• Надежное различие между газами и фоном
• Впускной клапан быстрого реагирования UniBloc для отбора проб при фоновом и технологическом давлениях
• Интеграция с широким спектром инструментов ALD, CVD и Etch

Технические данные

Анализатор
Область масс	1-300 а.е.м.
Макс. рабочее давление	1e-3мбар
Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея	2,7 · 10⁻¹¹ гПа
Нижний предел обнаружения	<15 ppb
Рабочая температура	10-40 °C
Соединительный фланец	DN 35 CF

В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).

Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, обеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).

Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.

Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.

Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.

Дистанционный вакуумный регулятор

Каждая система Vision 2000-C XD и Vision 2000-E XD включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК.

Скачать буклет Vision 2000-C XD/2000-E XD (En)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру