Анализатор остаточных газов Vision 2000-P для выбора давления и процессов PVD

Vision 2000-P представляет собой иную концепцию в области контроля процессов, требующую минимального взаимодействия с оператором или знаний АОГ. Vision 2000-P включает в себя технологию АОГ “smart head” Microvision 2 с закрытым источником ионов и впускным отверстием. Данная технология АОГ интегрирована с платформой Process Eye Professional Control, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Передовые технологии, доступные в Vision 2000-P, предоставляют пользователям простой и эффективный процесс контроль работы.

• Определение уровня ppb загрязняющих газов при проведении процессов PVD
• Отслеживание состава газовой смеси при использовании двух газов
• Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM
• Интеграция с широким спектром инструментов PVD
• Дистанционный вакуумный контроллер для безотказной работы и управления на базе ПК
• Доступно с программным обеспечением Process Eye Professional

Технические данные

Анализатор
Диапазон измеряемых масс	1-100, 1-200, 1-300 а.е.м.
Макс. рабочее давление	1e-2мбар
Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея	2,7 · 10⁻¹¹ гПа
Нижний предел обнаружения	<100 ppb
Рабочая температура	10-40 °C
Соединительный фланец	DN 35 CF

Закрытый источник ионов

Каждый Vision 2000-P включает в себя закрытый источник ионов и специальный впускной клапан с оптимизированной высокой проводимостью и низкой площадью поверхности к рабочей камере PVD. С помощью этого источника система может контролировать полный цикл процесса PVD, от базового вакуума до рабочего давления до 0,01 мбар, без необходимости снижения давления на входе.

Максимизируя соотношение между сигналами рабочего газа газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-P с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник позволяет обнаруживать следовые количества загрязняющих веществ в технологическом газе.

Дистанционный вакуумный регулятор

Каждая система Vision 2000-P включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении.

Мобильная платформа АОГ

Vision 2000-P может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере.

Скачать буклет Vision 2000-P (En)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру