Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Многоступенчатые насосы Рутса для средних нагрузок

Передовые технологии с высокой энергоэффективностью для процессов средней нагрузки
С насосами серии A3P компания Pfeiffer Vacuum предлагает серию насосов из трех моделей, которые отличаются резко сниженными эксплуатационными расходами. По сравнению с предыдущими насосными технологиями возможна экономия энергии до 50%. Насосы объединяют самые современные знания для пригодности процесса. Кроме того, благодаря компактной конструкции они позволяют экономить до 50% пространства по сравнению с предыдущими насосами.

Безмасляные насосы для cредне-химических процессов

• Низкие эксплуатационные расходы
• Компактные размеры
• Легкий вес для более простой сборки
• Высокая надежность в условиях средней нагрузки
• Совместимый с требованиями для продукции полупроводника

Подробнее

Приложения
• Полупроводниковая промышленность (травление, имплантация, PVD, ...)
• Фотоэлектрический

Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности
Безмасляные насосы серии A3P основаны на проверенной многоступенчатой технологии Рутс. Внутренняя часть насосов устойчива к агрессивным газам. Благодаря этому насосы обладают высокой надежностью в процессах со средней нагрузкой. Три модели данной серии предлагают широкий спектр скоростей откачки и, таким образом, удовлетворяют большинству требований к вакуумным насосам средней мощности в полупроводниковой промышленности. Серия A3P подходит для работы в чистых помещениях и соответствует стандартам CE и Semi S2.

Разработан для высокой надежности в процессах средней нагрузки
Безмасляные насосы отличаются высокой надежностью применения в процессах со средней нагрузкой. Насосы обладают датчиком температуры и промывкой инертным газом. Низкий уровень шума и низкий уровень вибрации являются дополнительными характеристиками серии A3P.