MultiGas Purity быстродействующий детектор остаточных примесей
|
Анализатор MultiGas Purity на базе Фурье-спектрометра способен выявлять загрязняющие вещества на уровне ppb в высокочистых технологических газах. Использование этого анализатора уже позволило улучшить качество производства газов, таких как NH3, NF3 и водород. |
Возможности и преимущества
- Интерактивный, работающий в режиме реального времени детектор чистоты технологических газов
- Определение примесей на уровне ppb в технологических газах, таких как NH3, NF3 и H2
- Сконструирован для агрессивных, высокочистых газов (газовая кювета и линия подвода образцов изготовлена из свариваемой нержавеющей стали 316, нагреваемый оптический путь устраняют образование влажности и атмосферных загрязнений, автоматическая процедура обезгаживания прогревом)
- Анализатор с высоким разрешением обращает свертку перекрывающихся спектров и делает возможным видообразование примесей в газе
- Программное обеспечение со специальной установкой «нуля» и автоматической калибровкой
Применения
- Непрерывный мониторинг остаточных загрязнений в высокочистых газах в производственной среде, включая:
- H2O, CO, CO2, N2O и CH4 в NH3
- H2O, CO, CO2, N2O и HF в NF3
- H2O, CO, CO2, HF, HCI, NH3, CH2CI2 и CHCI3 в H2
- H2O, CO, CO2, CH4 и NH3 в N2O
|
|
Компактный и надежный спектрометр 2102 Process FTIR разработан специально для мониторинга окружающий среды и технологических процессов. Способный работать с разрешением до 0,5 см-1 он является самым быстрым, наиболее чувствительным и стабильным Фурье-спектрометром ИК диапазона. Кроме того, он может работать с агрессивной средой с высокой степенью невосприимчивости к вибрациям и перепадам температуры. Современная, быстродействующая система обработки данных является стандартной и предоставляет для анализа ИК спектры с низким уровнем шумов. |
 газовая кювета с оптической длиной пути 5,11 м и объемом 200 мл, имеет размеры 8-1/2" x 2" x 3-1/2" и запатентованную оптику с коррекцией аберраций для максимальной чувствительности |
Этот спектрометр связан с малообъемной (200 мл) многопроходной газовой кюветой, имеющей эффективный оптический путь 5,11 м. Запатентованный дизайн кюветы включает асферические зеркала с коррекцией аберраций, которые обеспечивают более чем двукратную оптическую пропускную способность обычной многопроходной газовой кюветы. Чтобы обеспечить оптимальную чувствительность, во время анализа чистоты газа проводится мониторинг его давления и температуры. |
Спектральный анализ
 спектр аммиака в области определения уровня воды |
Анализатор MultiGas 2030 обладает надежным программным обеспечением для количественного анализа, которое может анализировать и выдавать отчет о концентрациях примесей. Температура и давление газа поддерживаются на определенном уровне и контролируются во время флуктуаций в технологическом процессе. |
 высокое разрешение позволяет устанавливать различие между спектрами воды и NF3 |
Используя современный спектральный анализ MultiGas может обеспечить высокую точность экспериментальных данных без изменений базовой линии или дрейфа показаний прибора. Интерферограммы регистрируются с высоким разрешением, восстанавливаются из свёртки, а затем сравниваются со спектром образца для определения компонентов спектра. Эти спектры вместе с калибровочными кривыми (для примесей) используются для установления уровня концентраций примесей. Данный анализ полностью автоматизирован и осуществляется классическим методом регрессии наименьших квадратов. Формат вывода данных на экран включает историю концентраций (временные зависимости концентраций) в графическом и табличном видах, измеренный и остаточный спектры. |
 остаточные спектры: результат вычитания калибровки из спектра образца демонстрирует качество анализа |
Остаточный спектр является визуальным указателем возможных количественных ошибок, что облегчает процедуру контроля и гарантии качества. Они представляет собой «остаток» спектральной информации после того, как из всех опорных спектров были вычтены их вычисленные значения. Зарегистрированные и записанные в память эти спектры в любое время могут быть использованы с тем же или иным набором калибровочных параметров. |
|
Калибровка системы |
|
 графический пользовательский интерфейс для калибровки |
Программное обеспечение MultiGas обладает многоточечными калибровочными кривыми, которые минимизируют ошибки благодаря спектральной нелинейности. Данные калибровочные кривые входят в комплект поставки каждого прибора. Специальные программные утилиты контролируют работу прибора для предотвращения дрейфа калибровки. |
Характеристики ИК Фурье-анализатора MultiGasTM Purity
|
|
|
|
Метод измерений |
Инфракрасная Фурье-спектрометрия |
|
Измеряемые газы и пары |
Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2 |
|
Диапазон измерений концентрации |
от 10 ppb до 100% |
|
Модель Фурье-спектрометра |
2102 Process FTIR |
|
Спектральное разрешение |
0,5 - 128 см-1 |
|
Скорость сканирования |
2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1 |
|
Время сканирования |
1 -300 сек |
|
ИК источник |
карбид кремния SiC (12000C) |
|
Опорный лазер |
гелий-неоновый (15798,2 см-1) |
|
Детектор (приемник) |
MCT - Mercury-Cadmium-Telluride (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) охлаждаемый жидким азотом или с термоэлектрическим охлаждением |
|
Давление продувки |
20 psig (1,5 бар) макс. |
|
Поток продувки спектрометра |
4 л/мин сверхчистого азота |
|
Поток продувки оптики |
4 л/мин сверхчистого азота |
|
Датчик давления |
Баратрон |
|
Фланцы подключения продувки |
Swagelok |
|
Требования к компьютеру |
настольный или ноутбук Intel Pentium® PC с Microsoft® Windows® 95/98/NT/2000/Me/XP и XGA монитором (1024 x 768) |
|
Протокол |
скрещенный Ethernet RJ-45 |
|
Выходные сигналы |
аналоговый, DDE выход, RS232 |
|
Габаритные размеры |
17,5" x 12,5" x 25,5" |
|
Установка |
19" дюймовый, монтируемый в стойку |
|
Электропитание |
120 или 240В, 50/60Гц, 3А |
|
Вес |
57 кг |
|
|
|
|
Температура пробы |
от окружающей до 600С (в зависимости от температуры калибровки) |
|
Поток пробы |
0,2 - 10 л/мин |
|
Давление пробы |
0,01 - 8 атм. (в зависимости от давления калибровки) |
|
|
|
|
Конструкция |
нержавеющая сталь 316 |
|
Фланцы |
1/4" VCR |
|
Трубопровод |
1/4" нерж.сталь, прогреваемые |
|
Зеркала |
никелированная алюминиевая подложка с напылением золота |
|
Окна |
KBr, CaF2, ZnSe (другие материалы по запросу) |
Детектируемые газы
В таблице приведены пределы детектирования для газовой ячейки длиной 5,11 метров и MCT детектор (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) с разрешением 0,5 см-1 для некоторых газов
|
Наименование |
Формула |
Газовая среда |
Характерный предел обнаружения с кюветой 20/20TM |
|
Вода |
H2O |
NH3, NF3, N2O, PH3 , AsH3 |
20 ppb |
|
Углекислый газ |
CO2 |
NH3 и NF3 |
5 ppb |
|
Угарный газ |
CO |
NH3 и NF3 |
6 ppb |
|
Плавиковая кислота |
HF |
NF3 |
9 ppb |
|
Метан |
CH4 |
NF3 |
15 ppb |
|
Закись азота |
N2O |
NF3 |
3 ppb |