Скачать документацию
Отправить запрос
Главная
/
Вакуумная техника
/
MKS Instruments
/
Вакуумметры
/
Оборудование для калибровки вакуумметров

Датчик вращающегося ротора

mks-srg3.png Датчик вращающегося ротора - это высоковакуумный датчик, который работает, измеряя величину вязкого сопротивления на магнитно-левитированном вращающемся шаре, что напрямую связано с количеством молекул в камере. Как правило он применяется для калибровки и метрологии других высоковакуумных датчиков, таких как ионизационные трубки с холодным катодом и горячей нитью накала. Точность в 1% от показания обеспечивается в диапазоне от 1x10-2 торр (мбар) до 5x10-7 торр (мбар).

• Стандарт передачи для калибровки в диапазоне вакуума от 10-2 до 10-7 Торр, отслеживается по DKD
• Общий диапазон измерения до 1 Торр/мбар (с пониженной точностью)
• Нечувствительность к эффектам ионизации от других датчиков
• Смачиваемые поверхности из нержавеющей стали
• Несколько выходов, таких как RS232, USB, аналоговые реле высокого разрешения и дискретные реле отключения
• Соответствие требованиям CE и RoHS

Технические данные

Диапазон измерений от 5x10-5до 100 Па
Точность до 1 па: 1% от измеренного значения + U
1 до 100 Па: увеличение до 10% от измеренного значения (типовое значение)
Дисплей 4½-значный ЖК-дисплей
Отображаемые единицы измерения Па, мбар или Торр
Аналоговый выход 0-10 В постоянного тока, на 2k Ом мин., нагрузка линейная или логарифмическая
Реле 2 реле SPDT, регулируемые, номинальная коммутационная способность (переменная нагрузка): 1 А 30 В постоянного тока, 0,5 А 25 В переменного тока
Канал связи RS-232, USB (совместим с USB 2.0)
Тип фланца 2¾ CF, из нержавеющей стали, температура нагрева до 450 °C (без измерительной головки)
Рабочая температура Электроника: от 10 до 40 °C
Измерительная головка: от 10 до 50 °C шар/фланец в сборе с возможностью нагрева до 450 °C

 

Модель Параметры
SRG3-EL Электронный модуль, датчик вращающегося ротора
SRG-SH700-V3 Измерительная головка, система вакуумметров с вращающимся ротором, кабель включён
SRG-BF-CAL Шаровой и фланцевый узел, система вакуумметров с вращающимся ротором, откалибрована
SRG-BF Шаровой и фланцевый узел, система вакуумметров с вращающимся ротором, не откалибрована

Принцип действия датчика с вращающимся ротором

figure_77-semiconductor_handbook.jpg Чувствительный элемент SRG представляет собой магнитно-левитированный шарик из нержавеющей стали, находящийся в трубке, соединенной с вакуумной системой. Шарик подвешен и вращается с помощью раздельного привода. При достижении шариком определенной скорости вращения, он переходит в свободное вращение. Столкновения молекул газа с поверхностью шарика создают сопротивление, которое замедляет шарик. Измерение замедления производится катушками датчика. Затем электронный блок использует алгоритм, основанный на времени отбора проб, физических параметрах и характеристиках газа, для точного определения давления.

Поскольку принцип измерения является механическим, отсутствуют тепловые или ионизационные эффекты (как в случае с ионизационными датчиками), которые могут повлиять на точность измерений. Кроме того, на калибровочную константу слабо влияет шероховатость поверхности шара, что делает SRG очень стабильным эталоном.

Приложения

SRG-3 может применяться в метрологии и в экспериментах, где важны высокая точность и воспроизводимость. Вне испытательного стенда датчик вращающегося ротора MKS также может использоваться на месте в технологической камере для обеспечения высокой точности показаний вакуумметра и согласованности между инструментами. Это обеспечивает воспроизводимые результаты процесса, высокое время безотказной работы и оптимальное время цикла.

Калибровка

MKS Instruments, Inc. поставляет SRG-3 с откалиброванной измерительной головкой и шаровым/фланцевым узлом в сборе вместе с сертификатом калибровки. Калибровка производится по стандартам калибровочной лаборатории MKS DKD1. В результате система датчика вращающегося ротора SRG-3 предлагает пользователю последовательную прослеживаемость в соответствии с требованиями стандарта ISO9000. При заказе измерительных фланцев с некалиброванными шариками, они будут проверены на удобство использования заводом-изготовителем.

Запрос стоимости (v)
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Загрузка файла
не более: 5
Комментарий
Скачать документацию
Контакты