Уникальные технологии, примененные в компактном высокопроизводительном насосе OnTool Booster, проложили новый путь в вакуумных технологиях.
Этот уникальный безмасляный насос имеет скорость откачки до 130 м3/ч и может самостоятельно достичь вакуума < 1*10-5 мбар (не требует форвакуумного насоса). OnTool Booster прекрасное решение для "сухой" откачки в процессах нанесения покрытий, полупроводниковой промышленности и в исследовательской деятельности. Может применяться в самых различных процессах как самостоятельный насос и как форвакуумный насос для турбомолекулярных систем.
Применения:
- шлюзовые и загрузочные камеры
- фотолитография в глубоком ультрафиолете (EUV)
- системы напыления солнечных батарей и оптических покрытий
- симуляторы космического пространства
Технические характеристики
Контроллеры вихревых безмасляных высоковакуумных насосов серии OnTool Booster
Блоки питания/индикации/управления для вихревых безмасляных
высоковакуумных насосов серии OnTool Booster поставляются в 2 исполнениях.
Модель | TСP 2000 | TCP 3000 |
Фото |