Озоновая система очистки воды PAP-SC-200

PAP-SC-200 - передовые технологии озонового окисления Anseros

Описание
В частности, при обработке полупроводников требуется полностью чистая озоновая система. Любые металлы и частицы, эмитируемые из озоновой системы на полупроводниковые поверхности в процессе обработки (Wafer/IMEC/RCA/SOM и др.) влияют на качество микрочипа. Включая все свои компоненты, (например генератор озона COM-AD или монитор озона WM) водяные системы Anseros PAP-SC полностью свободны от металлов, контактирующих с озоном. Они готовы к влажной или сухой обработке, независимо от того, с кислотами или без. Для обеспечения безопасности система PAP-SC включает в себя разрушитель озона CAT-HO.

Применения
• Процессы очистки IMEC и RCA
• Системы сверхчистой воды (UPW)
• Усовершенствованные процессы окисления (AOP)
• Трехфазные системы
• Биологическое разложение DOC
• Стерилизация
• Санитарная обработка (очистка на месте, CIP)

Технические данные
• Расход газа: 100 … 1000 норм.л/ч
• Концентрация озона (O3): 100 … 300 гО3/м3
• Материалы, контактирующие с озоном: кварц, PFA (перфторированный сополимер)

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру