Pfeiffer Vacuum (Пфайффер Вакуум)

• Производительность: от 10 до 3 000 л/сек
• Предельное разрежение: до 5*10-10 мбар
• Возможен монтаж в любом положении
• Увеличенные интервалы между периодами технического обслуживания
• Возможность замены подшипников на месте

• Портативные
• Высокопроизводительные
• Многофункциональные
• Модульные
• Рабочие станции
• По методу "Щупа"

• Производительность: от 0,3 до 10 м³/ч
• Предельное разрежение: до 1 мбар
• Абсолютно безмасляный вакуум
• Высокая надежность, продолжительный срок службы диафрагмы и простота обслуживания
• Низкие уровни шума и вибрации

• Производительность: от 2,5 до 1 000 м³/ч
• Предельное разрежение: до 0,1*10^-3 мбар
• Встроенный сепаратор масляного тумана для чистоты выводимого воздуха
• Компактность, надежность, эффективность и удобство в обслуживании
• Бесшумная работа с низким уровнем вибраций

• Производительность от 110 до 630 м³/ч
• Предельное разрежение 5*10^-2 мбар
• Абсолютно чистый и безмасляный вакуум
• Система водяного охлаждение с термостатом
• Малые энергозатраты благодаря эффективной внутренней компрессии

Данный тип насосов был разработан в ответ на постоянно растущую на рынке вакуумного оборудования потребность в простых и относительно недорогих (в отличие от насосов, применяемых в полупроводниковой промышленности) безмасляных откачных средствах. Применение безмасляных форвакуумных средств откачки позволяет пользователю перейти на полностью безмасляные откачные системы.

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 15 до 120 м³/ч в 4 исполнениях с предельным разрежением до 3*10^-2 мбар.

Серия HiScroll состоит из трех безмасляных, герметичных спиральных насосов с номинальной скоростью откачки от 6 до 20 м³/ч.

Более чем десятилетний опыт производства, испытаний и проверенных практикой конструкторских решений, позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum предложить новое поколение безмасляных вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности, объединивших в себе накопленный огромный опыт и знания в этой области техники.

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 1800 м³/ч 3 серий с предельным разрежением до 8*10^-4 мбар.

• Производительность: от 95 до 560 м³/ч
• Предельное разрежение: до 9*10^-4 мбар.

Стандартные - рассчитаны на низкий, средний и сверхвысокий вакуум. Изготавливаются в различных формах и размерах. Поскольку большая часть проектных работ по этим камерам уже завершена, стандартные камеры экономически более выгодны.

Под заказ -если вам требуется уникальная форма или очень большой размер камеры, мы можем предложить Вам разработку и изготовление вакуумной камеры по эскизу.

• PrismaPlus - компактные масс-спектрометры с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• HiQuad - максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон до 2 048 а.е.м
• Анализаторы газа SPM - работают в диапазоне давлений до 10 мбар в режиме реального времени с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м.
• HPA - диапазоны работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• OmniStar / ThermoStar - газоаналитические масс-спектрометрические системы

• ActiveLine - аналоговые вакуумметры с диапазоном измерения от 10^-11 до 55 000 мбар
• CenterLine - аналоговые вакуумметры с диапазоном измерения от 10^-10 до 1 500 мбар
• DigiLine - цифровые вакуумметры с диапазоном измерения до 5*10^-10-1000 мбар
• ModulLine - для работы в радиоактивных средах и при повышенных температурах

• Производительность: от 250 до 25 000 м³/ч
• Бесперебойная работа, максимальная надежность и наибольшее время безотказной работы благодаря электромагнитной муфте
• Низкие эксплуатационные расходы благодаря воздушному охлаждению и электромагнитной муфте. Отсутствие термических перегрузок за счет встроенного перепускного клапана

Серия CombiLine

• Предельное разрежение: 5*10^-4 мбар
• 5 различных исполнений, в том числе и полностью безмасляные
• Идеальное решение для откачки больших объемов
• Обслуживание по месту установки по всему миру
• Более 50 лет опыта в металлургии

Серия DRS

• Предельное разрежение 5*10^-3 мбар
• Полностью безмасляное стандартное и химстойкое исполнения
• Комбинация насоса Рутса RSV300 и безмасялного форвакуумного насоса серии A

серия LRS

• Предельное разрежение 2*10^-4 мбар
• Бюджетные откачные агрегаты
• 3 типа компановки: без рамы LRS1, на раме LRS2 и на раме с блоком электроники LRS3
• Стандартное и химстойкое исполнения

HiCube Eco

• МИНИМАЛЬНАЯ СТОИМОСТЬ
• Производительность: 67 л/сек
• Предельное разрежение: менее 10^-7 мбар
• Компактные размеры

Серия HiCube Classic

• Производительность: от 700 л/сек
• Предельное разрежение: < 5*10^-10 мбар
• Комплектация безмасляным мембранным или пластинчато-роторным насосами
• Компактные размеры

Серия HiCube Pro

• Производительность: от 700 л/сек
• Предельное разрежение: < 5*10^-10мбар
• Оптимальное сочетание турбонасоса и форвакуумного безмасляного или пластинчато-роторного насоса для быстрой откачки и широкого спектра применений
• Модульная конструкция обеспечивает простую настройку и подключение

Серия DryTel

• Полностью "сухой" безмасляный вакуум
• Предельное разряжение: до 10^-6 мбар
• Низкий уровень вибраций и шума

• Предельный вакуум: 10^-7 мбар
• Скорость откачки по N₂ 67 л/с
• Скорость форвакуумной откачки: до 2,5 м³/ч
• Регулировка потока: 5х10^-6 мбар*л/с до 103 мбар*л/с

• Угловые клапаны
• Встроенные клапаны
• Запорные клапаны
• Мини-клапаны
• Клапаны специального назначения

С электромагнитным, электропневматическим и ручным управлением!

• Рекуперация Гелия:
   - в баллоны
   - в контейнеры
   - по требованию могут быть разработаны специальные решения
• Сокращение эксплуатационных расходов
• Срок окупаемости от 1 до 3 лет
• Восстановление концентрации Гелия до 98%
• Максимальный поток Гелия до 550 ст.*л/мин
• Максимальное конечное давление до 300 бар
• Независимая система, с возможностью использования с любыми системами и установками • контроля герметичности

• Высокая чувствительность позволяет выявлять даже самые мелкие утечки
• Уменьшение необходимого количества тестов и эксплуатационных расходов
• Соблюдение качества и экологических требований
• Полностью автоматизированная процедура испытаний
• Возможность рекуперации гелия

Pfeiffer Vacuum предлагает большое разнообразие вакуумных элементов! Представлены многочисленные версии фланцев, соединительных элементов, сильфонов, редукторов, переходников для любого конфигурирования вакуумной системы.

• ISO-KF - Небольшие фланцевые элементы из алюминия или стали
• ISO-K / F - Зажимные фланцевые элементы
• CF - Элементы для сверхвысокого вакуума