Безмасляные винтовые вакуумные насосы для производства полупроводников

Разработаны для сложных процессов в производстве полупроводников, включая изготовление микросхем, нанесение покрытий на кремниевые пластины и травление.

Передовые вакуумные технологии для полупроводниковой промышленности

Принцип работы винтовых вакуумных насосов Pfeiffer Vacuum COBRA Semicon основан на новейшей винтовой технологии. Благодаря запатентованным самобалансирующимся винтам они устанавливают новые стандарты эффективности и надёжности в производстве полупроводников.

Винтовые насосы серии COBRA Semicon обладают высокой производительностью и устойчивостью к парам и частицам. Это позволяет им эффективно откачивать среды, насыщенные частицами. Работа насосов осуществляется без использования масла и контакта с жидкостью, что обеспечивает низкие требования к техническому обслуживанию, низкие эксплуатационные расходы и длительный срок службы.

Безмасляные винтовые вакуумные насосы серии COBRA BC

• Скорость откачки: от 90 до 1200 м³/ч
• Предельное давление: до 3 мбар
• Расход воды: от 1 до 5 л/мин
• Мощность двигателя: 1,5 кВт

Цена

По запросу

Безмасляные винтовые вакуумные насосы серии COBRA DS

• Скорость откачки: от 70 до 6000 м³/ч
• Расход азота: от 75 до 200 л/мин
• Предельное давление: от 3 до 1·10-3 мбар
• Расход воды: от 4 до 15 л/мин
• Мощность двигателя: от 2 до 15 кВт

Цена

По запросу

Помимо различных процессов в производстве полупроводников, винтовые насосы COBRA Semicon подходят для применения при производстве фотоэлектрических элементов, плоских дисплеев и в многочисленных процессах нанесения покрытий.

Принцип работы Pfeiffer Vacuum COBRA Semicon

Винтовые насосы обеспечивают высокую скорость откачки и создание вакуума без загрязнений окружающей среды. Благодаря этим характеристикам они стали незаменимыми в производстве полупроводников.

Принцип работы можно объяснить в три этапа:
1. Впускное отверстие: перекачиваемая среда поступает в насос через впускное отверстие. Внутри цилиндрического корпуса два ротора вращаются в противоположных направлениях.

2. Сжатие: перекачиваемая среда задерживается в камерах, образованных между двумя элементами и цилиндром. По мере вращения роторов размер камеры уменьшается, сжимая среду. Сжатие происходит без необходимости использования смазочных материалов или рабочих жидкостей в камере сжатия. Роторы не контактируют друг с другом или с корпусом, что обеспечивает безмасляную работу и позволяет избежать загрязнения.

3. Выпускное отверстие: по завершении сжатия перекачиваемая среда удаляется через выпускное отверстие.

Безмасляные винтовые вакуумные насосы типа COBRA Semicon разработаны специально для применения в производстве полупроводников. Высокая надёжность и эффективность позволяют использовать их в обработке пластин, химическом осаждении из газовой фазы и травлении. Принцип работы, не требующий масла и контакта, обеспечивает создание чистого вакуума. Это очень важно для поддержания необходимого уровня чистоты и качества при производстве полупроводников.

Что делает винтовые насосы идеальными для производства полупроводников

Принцип работы, основанный на инновационной винтовой технологии, делает насосы COBRA Semico идеальными для различных процессов в полупроводниковой отрасли. Вот несколько ключевых особенностей и преимуществ:

• Низкие требования к техническому обслуживанию: винтовые вакуумные насосы работают без контакта при сжатии. Роторы не соприкасаются друг с другом и со стенками корпуса, что сводит к минимуму износ и потребность в техническом обслуживании, обеспечивая длительное время безотказной работы.

• Безмасляная работа: не требуют рабочих жидкостей, таких как масло, в камере сжатия. В производстве полупроводников крайне важно обеспечить абсолютную чистоту вакуума, чтобы предотвратить загрязнение и получить продукт высочайшего качества.

• Контроль температуры: устройства оснащены эффективной системой водяного охлаждения. Эта функция обеспечивает равномерное распределение температуры по всему корпусу и предотвращает перегрев. Тепло, возникающее при сжатии, распределяется по всему корпусу, что гарантирует термическую стабильность в процессах производства полупроводников. Потенциальным преимуществом такой стабильности является предотвращение конденсации технологических газов внутри устройства, что снижает риск загрязнения.

• Адаптируемость к агрессивным газам: производство полупроводников включает в себя процесс травления, для которого требуются токсичные газы, такие как хлор. Устройства отлично справляются с такими газами благодаря конструкции, в которой корпус отливается как единое целое. Это исключает наличие зазоров и не позволяет газам проникнуть внутрь, что предотвращает коррозию.

• Низкий уровень шума: благодаря запатентованной конструкции самобалансирующихся элементов винтовой вакуумный насос обеспечивает низкую вибрацию и бесшумную работу. Это особенно важно для высокочувствительных процессов.

Благодаря всем этим характеристикам винтовой вакуумный насос серии COBRA Semicon становится идеальным и надёжным выбором для использования в полупроводниковой промышленности. Он обеспечивает мощный, энергоэффективный и экологически чистый вакуум.

Совместимы ли винтовые вакуумные насосы с современными полупроводниковыми системами?

Насосы прекрасно интегрируются с современными полупроводниковыми системами. Они разработаны с учётом строгих требований, предъявляемых при применении в микроэлектронной промышленности, таких как метрология, литография и обработка пластин.

Винтовой вакуумный насос COBRA Semicon от Pfeiffer отличается высокой эффективностью, низким энергопотреблением и высокой устойчивостью к воздействию паров и частиц. Безмасляное сжатие обеспечивает создание вакуума без загрязнения. Такая чистая среда необходима для поддержания требуемой чистоты на предприятиях полупроводниковой промышленности.

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру