• Усовершенствованный винт
• Безмасляный и бесконтактный принцип работы
• Уникальный «парящий подшипник»
• Консольная конструкция
• Прямое водяное охлаждение
• Полностью открытый протокол связи
Преимущества насосов COBRA BC
Pfeiffer Vacuum COBRA BC идеально подходят для задач в производстве полупроводников, особенно в загрузочных и передаточных камерах. Также они применяются в метрологии, литографии, физическом осаждении из газовой фазы, быстром термическом отжиге и травлении кремния.
Запатентованная конструкция самобалансирующегося винта обеспечивает минимальный уровень вибрации и бесшумную работу.
Серия COBRA BC изготавливается методом монолитного литья, что исключает наличие зазоров. Это делает невозможным попадание технологических жидкостей или частиц. Таким образом, предотвращается коррозия и образование отложений.
Насосы имеют раструбообразную консольную конструкцию: двойной ротор с винтами переменного шага крепится только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящего подшипника» позволяет отказаться от использования входных подшипников.
Таким образом, перекачиваемая среда не контактирует с подшипниками, что обеспечивает создание чистого вакуума.
Насосы оснащены передовой системой прямого водяного охлаждения, которая обеспечивает равномерное распределение тепла по всему корпусу. Это гарантирует термическую стабильность в процессе работы.
Благодаря простоте установки и настройки, насосы легко интегрируются в уже существующие системы.
Технические параметры
Этот сайт использует cookie-файлы и другие технологии для улучшения его работы. Продолжая работу с сайтом, Вы разрешаете использование cookie-файлов. Вы всегда можете отключить файлы cookie в настройках Вашего браузера.