Сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA DS

• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем

Преимущества серии COBRA DS

Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.

В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значительно повысить скорость откачки и достичь максимального давления.

Запатентованная инновационная конструкция вакуумного насоса с самобалансирующимся винтом. Данная инновация обеспечивает отличную работу с порошками и высокое время безотказной работы.

Винты для насосов производятся методом цельного литья, что обеспечивает отсутствие зазоров. Это обеспечивает защиту от проникновения технологических жидкостей и частиц, что, в свою очередь, снижает риск коррозии и образования отложений.

Насосы используют эффективное непрямое водяное охлаждение. Благодаря этому можно контролировать распределение температуры по корпусу насоса. В любой момент возможно отреагировать на изменения в процессе.

Благодаря своей компактности, COBRA DS можно легко и быстро интегрировать в уже существующие системы.

Технические параметры

Модель	DS 0080 G	DS 0160 G	DS 0600 E	DS 0700 G	DS 1000 G	DS 1200 A
Температура окр. среды	0 – 40 °C
Расход азота (л/мин)	75		200	75
Скорость откачки (м³/ч)	70 – 85	140 – 160	600	500 – 610	775 – 960	1200
Предельное давление (мбар)	3		1		3 · 10^-3
Потребляемая мощность при макс. давлении (кВт)	2,6	4,3	9	3		4,1
Расход воды (л/мин)	4		6	5		8
Вес (кг.)	276	338	745	445	576	500
Размеры (Д x Ш x В), мм	865x385x667	975x425x697	1654x600x747	865x385x917	1034x425x1017	1073x426x740

Модель	DS 1800 A	DS 1800 AX	DS 2000 G	DS 2141 A	DS 3010 G	DS 3161 C	DS 8161 F
Температура окр. среды	0 – 40 °C
Расход азота (л/мин)	75			200
Скорость откачки (м³/ч)	1700		1365 – 1640	1875	3200		6000
Предельное давление (мбар)	3 · 10^-3				1 · 10^-3
Потребляемая мощность при макс. давлении (кВт)	4,1	7,1	5,6	11	11,8		12,5
Расход воды (л/мин)	8		5	8	10		15
Вес (кг.)	500	520	668	600	1500	1375	1440
Размеры (Д x Ш x В), мм	1073x426x750	1124x426x750	1063x465x1069	1133x425x954	1420x722x1452	1316x633x1249	1441x627x1100

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру