Process Sense NDIR

 
Сравнение циклов очистки камеры иллюстрирует чувствительность Process Sense к колебаниям в процессе очистки камеры 

В отличие от оптических датчиков момента завершения процесса, Process Sense предоставляет количественную информацию. Калибровка остается постоянной в течение всего времени и не требует от пользователя проводить перекалибровку. Измеряя парциальное давление, Process Sense может осуществлять мониторинг концентрации газа, наблюдая за ним через два оптических смотровых отверстия (для согласованных процессов) в линии предварительного вакуума, поддерживаемой MKS. Электронные и оптические компоненты датчика никогда не вступают в контакт с газом и могут работать при давлениях от мТорр до атмосферного без каких-либо оптических модификаций. Так как все датчики откалиброваны одинаково, критерий сигнала момента окончания процесса одинаков для всех приборов и камер, и какие-либо перестановки или улучшения могут проходить без перекалибровки.

 
Сравнение циклов очистки камеры иллюстрирует способность Process Sense предсказать количество удаляемого вещества, тем самым не допуская ее избыточной очистки 

Process Sense снижает стоимость, улучшает качество продукции и увеличивает объемы ее производства. Благодаря правильному определению момента окончания очистки камеры, количество NF₃, используемого для очистки, снижается, обычно на 5 - 20 %.  Схожие результаты были получены в случае очистки ПФУ, уменьшая объем этих выбросов, производимых предприятием. Снижение времени очистки камеры до необходимого уровня, уменьшает вероятность эрозии камеры (из-за избыточной очистки), и тем самым продлевает её жизнь. Кроме того, экономится время, затрачиваемое на подготовку процесса осаждения, что, в свою очередь, увеличивает производительность до 2 - 4%.
Данное усовершенствование процесса предлагается в виде модернизирующего набора для оборудования по производству современных материалов методом CVD (200  и 300 мм) и имеющего программное обеспечение Applied Materials версии 3,1 или выше.