QuickPRO-CUBE

Быстродействующее двухстороннее определение геометрических характеристик оптических компонентов - одинарных или в лотке.

За счет интеграции пары одноточечных бесконтактных хроматических конфокальных датчиков нанометрового разрешения и высокоскоростного, скоординированного движения по осям X/Y/Z с нанометровым кодированием, QuickPRO-CUBE ™ одновременно фиксирует топографию облаков трехмерных точек передней, задней и реперной поверхности для определения геометрической характеристики одиночных линз или микролинз в лотках. Калибровочно-инвариантный вид архитектуры движения позволяет производить измерения как осесимметричных (вращательно-симметричных), так и более сложных - неосесимметричных или произвольных - форм до максимального диаметра измерений 50 мм (до 75 мм наружного диаметра). Общее время измерения составляет от 30 до 240 секунд на поверхность линзы, в зависимости от диаметра линзы и плотности выборки трехмерного облака точек.

К измеряемым геометрическим параметрам относятся
• Вертексное смещение от передней к задней поверхности относительно заданной точки центрирования
• Угол клина между передней и задней поверхностями относительно заданной точки наклона
• Изменение общей толщины спереди назад (TTV)
• Ошибка прогиба или формы передней и задней поверхностей

Характеристики системы
• Компактное настольное устройство с защитным кожухом
• Двойные одноточечные бесконтактные хроматические конфокальные датчики видимого света с комбинированной частотой измерения 8 кГц
• Нечувствительная к вибрациям и стабильная по размерам метрологическая рамка из инвара
• Кодируемое нанометром скоординированное движение по осям X/Y/Z с использованием магнитных линейных двигателей и подшипников с перекрестными роликами для быстрого растрового или спирального сканирования поверхности более 50 мм (X), 50 мм (Y), 50 мм (Z)
• Самоцентрирующееся приспособление с быстродействующим прецизионным соединением для быстрой загрузки/грузки
• Крепления как для отдельных оптических компонентов (наружный диаметр до 75 мм), так и для лотков с микролинзами.
• Удобное в использовании программное обеспечение QuickPRO™ для управления приборами и сбора данных, поддерживающее оптимизацию датчиков, автоматическое центрирование, сбор данных и скоординированную последовательность движений
• Программный пакет CalcuSurf-3D™ для просмотра и анализа данных многоповерхностного трехмерного облака точек.

Области применения
Система CUBE специально разработана для заводского контроля качества полированных, формованных или обработанных алмазными инструментами оптических компонентов, в том числе оптически непрозрачных инфракрасных материалов и металлов. Дополнительным преимуществом является возможность измерения нескольких небольших линз в лотке или линзовых антенных решеток за время одной последовательности измерений.

Технические характеристики

СИСТЕМА
Размеры (Д:Ш:В)	500 мм x 500 мм x 500 мм
Масса	Около 30 кг
Системный контроллер	Поддерживает управление движением, сенсорное управление, источники питания, Ethernet, интерфейс для ПК
Требования к электропитанию	110-220V AC, 50-60 Hz, 1 phase, 2 amps (220V), 5 amps (110V)
ДВИЖЕНИЕ
Ход предметного столика (X:Y:Z)	50 мм x 50 мм x 50 мм
Разрешающая способность датчика (X:Y:Z)	5 нм x 5 нм x 1 нм
Тип привода	Магнитный линейный двигатель
Тип подшипника	Подшипник с поперечными роликами
Плоскостность	Около 11 мкм/50 мм
Макс. размер образца	Внешний диаметр 75 мм
Грузоподъемность	2 кг
ДАТЧИКИ
Техническое решение	Хроматические конфокальные x2
Прикладные задачи	Расстояние, центровка, оптический клин, прогиб, толщина
Отбор проб	Точки отбора проб: до 4000 точек/сек/датчик
Предусмотренные датчики	0,2 мм	1 мм	4 мм
Разрешающая способность в поперечном направлении	1,5 мкм	16 мм	37 мм
Осевая разрешающая способность	10 нм	50 нм	150 нм
Осевая точность	50 нм	100 нм	500 нм
Максимальный наклон	± 45°	± 28°	± 20°
ИЗМЕРЕНИЯ
Децентрирование (S1 и S2)*	≤ 5 мкм
Оптический клин (S1 и S2)*	≤ 10 угловых секунд
Погрешность прогиба (S1 и S2)*	≤ 0,5 мкм
Толщина (S1 и S2)*	≤ 5 мкм

*В зависимости от качества образцов и плотности 3-мерного облака точек

Видео QuickPRO-Cube в действии

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру