Научные и лабораторные исследования

• Производительность от 0,3 до 10 м³/ч
• Предельное разрежение до 1 мбар
• Абсолютно безмасляный вакуум
• Высокая надежность, продолжительный срок службы диафрагмы и простота обслуживания
• Низкие уровни шума и вибрации

 Скорость откачки 7,5 л/с

Гибридные турбомолекулярные насосы серии HiPace (10-800 л/с)

 Скорость откачки 10-800 л/с

Вакуумметры Pfeiffer-Vacuum

• Диапазон измерения давлений от 10^-11 до 55 000 мбар
• Компактная конструкция
• Легкая интеграция
• Выходной сигнал 0 - 10 В с сигналом об ошибке
• Выбор единиц измерений

Серия DigiLine

• Передача данных через цифровые сигналы
• Возможность выбора интерфейса RS-232/485
• Свободное комбинирование компонентов системы
• Вывод данных непосредственно на ПК
• Простота в калибровке и подключении

Серия ModulLine

• Прочная, принципиально не поддающаяся воздействию радиоактивности и электромагнитных полей конструкция
• Используется на всех крупных ускорителях
• Четыре различные опции интерфейса (в том числе и Profibus)
• Датчики с металлическим уплотнением

Вакуумметры MKS Instrument

цифровые и аналоговые для измерения вакуума от 10^-11 торр до атмосферного давления

• пьезо
• пирани
• конвекционные пирани
• ионизационные (горячий катод)
• магниторазрядные (холодный катод)
• комбинированные вакуумметры

Компактные безмасляные высоковакуумные откачные посты HiCube 80 Eco

• верхние магнитные и нижние керамические подшипники
• воздушное охлаждение
• система управления и электропитания DCU

Гибридные турбонасосы на магнитном подвесе серии АТН-М

Скорость откачки 500-3200 л/с

Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Более чем десятилетний опыт производства, испытаний и проверенных практикой конструкторских решений, позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum предложить новое поколение безмасляных вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности, объединивших в себе накопленный огромный опыт и знания в этой области техники.

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 1800 м³/ч 3 серий с предельным разрежением до 8*10^-4 мбар.

Скрубберы и системы утилизации газа

• очистительные работы, позволяющие выявить и очистить газы от находящихся в них примесей и частиц;
• способность установки как влажной, так и сухой очистки от мелкой и среднедисперсной пыли, дыма, испарений, загрязнённых частиц;
• понижение температуры дымовых газов, конденсации пара;
• мягкое и равномерно испарительное увлажнение воздуха;
• экономия энергии путем утилизации уходящих газов.

Криогенные вакуумные насосы

Мощные безмасляные форвакуумные насосы промышленного применения – серия ACP 120 и ACG 600. Для откачки объёмов от 1 до 10 и более м³

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 560 м³/ч и с предельным разрежением до 9*10^-4 мбар.

Откачные агрегаты на основе насосов Рутса - серия CombiLine

• Предельное разрежение 5*10^-4 мбар
• 5 различных исполнений, в том числе и полностью безмасляные
• Идеальное решение для откачки больших объемов
• Обслуживание по месту установки по всему миру
• Более 50 лет опыта в металлургии

Гелиевые течеискатели

Работа при помощи одной кнопки - сверхпростота в эксплуатации
Надежная конструкция - надежность и долговечность
Модульный дизайн - возможность применения решений в зависимости от задачи
Интерфейсы (DI / DO, AO, RS-232 C, RS-485) - простота встраивания в системы управления
Проверенный и высоконадежный анализатор - минимальные эксплуатационные затраты
Универсальные - течеискатели работают как вакуумным методом, так и методом щупа

• ASM 310
• ASM 340
• ASM 340D
• ASM 340I
• ASM 380
• ASM 182T
• ASM 182TD+
• ASM 192T
• ASM 192T2D+
• ASM 192T2

Масс-спектрометры HPQ2 / HPQ2S

Компактная серия HPQ2/HPQ2S специально разработана для газового анализа процессов с повышенным рабочим давлением до 10^-2 мбар. Чувствительность масс-спектрометра идеально подойдет, в тех случаях, где нет высоковакуумной системы откачки.

• Диапазон измеряемых масс: 2-80 а.е.м.;
• Максимальное рабочее давление:
• HPQ2 - 1х10-3 Торр (1,3х10-3 мбар)
• HPQ2S - 8х10-3 Торр (1,0х10-3 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 5х10^-5 А/Торр;
• Температура отжига: 250 оС (без электронной части).