Регуляторы расхода газа на основе перепада давления

1640A полностью металлический регулятор расхода, использующий принцип измерения перепада давления
	Регулятор расхода газа серии 1640 - это полностью металлический регулятор небольшого размера (3-дюйма), предназначенный для дозирования и регулирования потока газа в газовых линиях с низким давлением, где тепловые регуляторы массового расхода газа ограничены в своих возможностях. Регулятор расхода газа 1640 использует принцип звукового течения газа через диафрагму, в условиях, когда регулируемое давление на входе как минимум вдвое ниже давления на выходе. В этих условиях, массовый расход пропорционален регулируемому давлению. В регуляторе расхода газа серии 1640 мембранно-емкостной датчик давления Баратрон контролирует давление на входе диафрагмы. Это давление пропорционально потоку. Измеренное давление сравнивается управляющей электроникой с заданным значением расхода. Затем генерируется управляющий сигнал на регулирующий клапан для изменения его проводимости и для доведения реального измеряемого давления (расхода) до соответствующего заданному значению расхода. Типичные области применения: ионная имплантация для безопасной подачи газа находящемся при низком давлении (от 650 Торр до 10 Торр и ниже), в SACVD процессах для контроля потока озона, при подачеа водяных паров и газов, чувствительных к изменениям давления.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)

1150C Прогреваемый регулятор расхода, использующий принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через диафрагму
	Регулятор расхода газа серии 1150C - это прибор основанный на системе измерения давления и системе управления предназначенной для измерения и регулирования паров жидкостей с низким уровнем давления насыщенных паров, а также от твердых источников напрямую, без использования газа-носителя. Регулятор расхода газа серии 1150C состоит из фиксированного элемента потока и одного мембранно-емкостного датчика давления Баратрон для измерения расхода, электромагнитного клапана для управления потоком (патент США № 4,679,585). 1150C выпускается в компактном корпусе с термостабилизацией и светодиодным индикатором состояния и реле, для контроля температура. 1150C используется для подачи испаряемых жидкостей, таких как: TEOS, DADBS, HMDS, TMCTS, TEAL, TEB, TEG, TEI, TMAL, TMB, TMG, TMI, TaCl5, DMEAA, Ti[OCH(CH3)2]4, TiCl4, TIBAL, and TMP.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)

1152C Прогреваемый регулятор расхода, использующий принцип измерения перепада давления с использованием вязкого течения газа через трубку с ламинарным потоком
	Регулятор расхода газа серии 1152C - это прибор основанный на системе измерения давления и системе управления предназначенной для измерения и регулирования паров жидкостей с низким уровнем давления насыщенных паров, а также от твердых источников напрямую, без использования газа-носителя. Регулятор расхода газа серии 1152C состоит из фиксированного элемента потока и двух мембранно-емкостных датчиков давления Баратрон для измерения расхода, электромагнитного клапана для управления потоком (патент США № 4,679,585). 1152C выпускается в компактном корпусе с термостабилизацией и светодиодным индикатором состояния и реле, для контроля температура. 1152C используется для подачи испаряемых жидкостей, таких как: TEOS, DADBS, HMDS, TMCTS, TEAL, TEB, TEG, TEI, TMAL, TMB, TMG, TMI, TaCl5, DMEAA, Ti[OCH(CH3)2]4, TiCl4, TIBAL, and TMP.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)

VoDM Модуль подачи водяного пара
	Необходимоcть в данном модуле была обоснована требованиями точной подачи водяного пара в процессы удаления фоторезиста и пост пассивации травления металла. Ранее подача пара осуществлялась с помощью нагрева резервуара с водой, где генерировался пар и затем через регулятор потока пар подавался в процесс. Предпринимались попытки контролировать этот поток пара через игольчатые натекатели, тепловые контроллеры массового расхода газа и другие приборы. При этом требовалось постоянное пополнение резервуара водой, что приводит к снижению ее температуры и одновременному падению давления пара и потере движущей силы пара. MKS разработала единый блок, VoDM модуль подачи водяного пара, который использует непрерывный поток воды, устраняя проблемы, связанные с пополнением резервуара с водой. VoDM, состоит из испарителя и регулятора расхода пара. Вода подается непосредственно в испаритель. Затем произведенный пар подается в регулятор расхода, который основан на регуляторе расхода серии 1153. Все элементы управления, поток воды, пар и мощность контролируются внутренним микропроцессором, обеспечивающим плавную и точную подачу водяного пара. Связь VoDM модуля подачи водяного пара с установкой осуществляется через аналоговые входы/выходы.
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)