Полупроводниковая промышленность

•  Скорость откачки 500-3200 л/с

Более чем десятилетний опыт производства, испытаний и проверенных практикой конструкторских решений, позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum предложить новое поколение безмасляных вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности, объединивших в себе накопленный огромный опыт и знания в этой области техники.

Выпускаются насосы номинальной производительностью от 95 до 1800 м³/ч 3 серий с предельным разрежением до 8*10^-4 мбар.

• очистительные работы, позволяющие выявить и очистить газы от находящихся в них примесей и частиц;
• способность установки как влажной, так и сухой очистки от мелкой и среднедисперсной пыли, дыма, испарений, загрязнённых частиц;
• понижение температуры дымовых газов, конденсации пара;
• мягкое и равномерно испарительное увлажнение воздуха;
• экономия энергии путем утилизации уходящих газов.