Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением серия A3P

Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.

Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.

Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706

Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности

Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация

	Единицы измерения	A103P	A603P	A1003P
Скорость откачки	м³/час	120	570	900
Остаточное давление (без продувки)	мбар	6,5	0,3	0,3
Остаточное давление (с продувкой)	мбар	26	1	1
Мощность	кВт	2,5	4,7	5
Расход охлаждающей жидкости	л/мин	1,5
Впускной клапан		DN 50	DN 100	DN 100
Выпускной клапан		DN 25	DN 25	DN 25
Размеры	Длина, мм Ширина, мм Высота, мм	684 310 323	684 342 662	684 342 662
Вес	кг	125	270	270

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру