Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением серия A3P

Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.

Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.

Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706

Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности

Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация

Производительность

	Единицы измерения	A103P	A603P	A1003P
Максимальная скорость откачки 50 ГЦ	м³/час л/мин	120 2000	570 9500	900 1500
Остаточное давление (без продувки)	мбар торр	6,510^-3 510^-3	310^-4 210^-4	310^-4 210^-4
Остаточное давление (с продувки)	мбар торр	2,610^-2 210^-2	10^-3 7,5*10^-4	10^-37,5*10^-4
Потребление энергии на предельном давлении 50 Гц	кВт	1	от 1,3 до 1,6
Мощность мотора	кВт	2,5	4,7	5
Поток охлаждаемой воды	л/мин	1,5
Потребление азота	slm	от 5 до 60
Впускной клапан		DN 50	DN 100	DN 100
Выпускной клапан		DN 25	DN 25	DN 25
Размеры	Длина, мм Ширина, мм Высота, мм	684 310 323	684 342 662	684 342 662
Вес	кг	125	270	270
Низкая стоимость владения, компактность, надёжность

Скачать буклет в PDF-формате

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру