835 VQM (Vacuum Quality Monitor) - это масс-спектрометр, который работает от сверхвысокого вакуума до 10-5 Торр и точно измеряет газы в вакуумной камере. Дифференциальная насосная система 835 VQM обеспечивает преимущества 835 VQM при более высоких давлениях. Система VQM (Vacuum Quality Monitor) состоит из датчика масс-спектрометра с авторезонансной ионной ловушкой, контроллера VQM и программного обеспечения VQM Viewer, которое преобразует необработанные данные в полезную информацию. Система является логометрической, это означает что она определяет соотношение каждого газа к другим газам в вакуумной камере. Как правило он соединен с манометром общего давления для обеспечения парциальных давлений каждого газа как показатель качества вакуума в камере.
• Диапазон масс: 1-145 а.е.м. за 85 мс или 1-300 а.е.м. за 125 мс
• Мгновенный доступ к важной информации измерений, включая 10 наиболее распространенных газов
• Регистрация данных на всех частотах дискретизации
• Рабочая температура: от 0° до 40 °C
• Рабочий диапазон: от 3 Торр до 5х10-9 Торр
• Диапазон масс: от 1 до 145 а.е.м. или от 1 до 300 а.е.м.
• Мгновеннон получение информации о 10 наиболее распространенных газах
• Рабочая температура: от 5 до 40 °C