T-map

T-MAP

Установка для бесконтактного измерения свойств поверхности пластин и точности геометрических параметров

Назначение:
Установка создана специально для нужд полупроводниковой промышленности. T-MAP имеет один или два инфракрасных сенсора, которые измеряют геометрические параметры подложек, такие как толщину, полный разброс по толщине, форму и плоскостность.

Возможность измерения подложек от 50 мм до 300 мм пластины. T-MAP обеспечивает высокую точность и воспроизводимость измерений на моно- и многослойных подложках из всех видов материалов. Вся система, программное обеспечение и интерфейс общения человек-машина специально разработаны так, чтобы пользователь легко и быстро проводил измерения.

Ключевые особенности прибора:

Небольшая занимаемая площадь производственного помещения и совместимость с чистыми комнатами
Ручная загрузка (до 200 мм), полуавтоматическая или полностью автоматическая загрузка, с возможностью использования загрузки роботом пластин вплоть до 300 мм.
Легкий и быстрый как в эксплуатации, так и в настройке прибор
Позволяет создавать плоскую и объемную модель (3D) измеряемой подложки
Измерения формы подложки позволяет в реальном времени наблюдать измерения на дисплее
Встроенная функция пересчета различных факторов влияющих на измерения позволяет избежать неверных данных и дает 100% достоверность измерения
Легкосъемные подложкодержатели
Возможность микроскопии и функция распознавания изображения дают возможность определения пользователем области измерения.
Возможность инфракрасной микроскопии позволяет определять дефекты после совмещения слоев многослойных печатных плат

Бесконтактный метод измерения позволяет измерять параметры:

Толщину подложек
Толщину слоев в многослойных подложках (>3 мкм)
Изгиб и коробление
Плоскостность поверхности
Толщину каждой подложки в кассете.

Области применения:

Измерение геометрических параметров подложек диаметром до 300 мм
Измерение толщины очень тонких подложек
Измерение и контроль 3D сборок (подложка на подложке, матрица на подложке)
Измерение изгиба подложек
Измерение параметров подложек в кассете

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру