Вакуумметры MKS Instruments

Модульные вакуумметры MKS обладают компактными размерами, что позволяет снизить затраты на установку. Эти вакуумметры / манометры идеально подходят для применений, где размер контроллера и локальное управление критически важны. Они доступны в виде вакуумметров с аналоговым выходом или в виде вакуумных модулей с цифровой связью, используемых для передачи сигнала давления.

Вакуумметр MicroPirani/Piezo 901 P

• Измерение абсолютного давления от 1000 до 10^-5 Торр
• 3 датчика в одном преобразователе для широкого диапазона измерений
• Аналоговые версии, RS232, RS485 и EtherCAT
• Опционально доступен встроенный сенсорный дисплей для индикации давления
• Быстрые, точные и воспроизводимые измерения давления сокращают время технологического цикла
• Три дополнительных уставки с быстрым временем отклика для надежного управления процессом

Вакуумметр MicroPirani 925

• Абсолютный диапазон измерения от 10^-5 торр до атмосферы
• Датчик MicroPirani устойчив к повреждениям от воздушных потоков или вибрации
• Аналоговые версии, RS232, RS485 и EtherCAT
• Опционально доступен встроенный дисплей для индикации давления
• Три дополнительных реле уставки для управления процессом

Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo 910

• Измерение абсолютного давления от 1500 до 10^-5 Торр
• 2 датчика в одном преобразователе для широкого диапазона измерений
• Газонезависимое измерение абсолютного давления от 11 до 1500 Торр
• Быстрые, точные и воспроизводимые измерения давления сокращают время технологического цикла
• Опционально 3 уставки с быстрым временем отклика для надежного управления процессом
• Опционально встроенный дисплей для индикации давления и т. д.

Модуль Mini-Convectron 275

• Измерение абсолютного давления от атмосферного до 10^-4 Торр
• Компактный и прочный цельнометаллический корпус практически невосприимчив к радиочастотным помехам
• Все функции программируются через интерфейсы RS485 или DeviceNet
• Легко читаемые трехзначные дисплеи позволяют считывать показания давления в точке использования
• Базовые модели поставляются с одним или двумя реле уставки для использования в качестве реле давления.

Вакуумметр 902B Piezo

• Недорогой преобразователь с диапазоном измерения от 0,1 до 1000 торр.
• Твердотельный пьезоэлектрический датчик, устойчивый к повреждениям от воздушных потоков и вибрации
• Прочная конструкция и корпус из нержавеющей стали для тяжелых условий эксплуатации
• Независимое от газа измерение давления для точного измерения давления
• Компактная конструкция системы со встроенной электроникой и датчиком в одном блоке
• Возможность установки в любом положении для простоты монтажа

Вакуумметр с холодным катодом модульного типа Серия 500

• Абсолютный диапазон измерения от 10^-10 до 10^-2 торр.
• Индивидуально откалиброванные манометры обеспечивают точность 10%
• Аналоговый выход и связь RS-485
• Два реле уставки для управления процессом
• USB-интерфейс для настройки и диагностики
• Индикатор срока службы для профилактического обслуживания

Вакуумметр с холодным катодом UniMag 971B

• Абсолютный диапазон измерения от 1x10^-8 до 0,005 торр.
• Конструкция анодного модуля с холодным катодом может обслуживаться пользователем для сокращения времени простоя
• Простота эксплуатации через аналоговый выход, RS232 или RS485
• Опционально встроенный дисплей для индикации давления
• 3 настраиваемых пользователем реле для управления процессом

Вакуумметр DualMag с холодным катодом MicroPirani Серия 972B

• Абсолютное измерение от 10^-8 Торр до атмосферы
• Конструкция модуля анода с холодным катодом удобна для обслуживания пользователем, что сокращает время простоя
• RS232, RS485 или EtherCAT/аналоговая связь
• Датчик MicroPirani на основе MEMS для автоматического включения холодного катода при низком давлении
• MicroPirani автоматически обнуляется во время цикла откачки для повышения точности

Вакуумметр QuadMag с холодным катодом MicroPirani/Piezo Серия 974B

• Абсолютное измерение от 10^-8 Торр до атмосферы
• Модуль анода с холодным катодом обслуживается пользователем для сокращения времени простоя
• Датчик MicroPirani на основе MEMS обеспечивает низкое автоматическое давление включения холодного катода
• Простота эксплуатации через аналоговый выход, RS232 и RS485
• Опционально встроенный дисплей для индикации давления и т.д.

Вакуумметр с горячим катодом Micro-Ion 355

• Измерение вакуумного давления до 10^-9 Торр
• Двойные нити увеличивают время безотказной работы оборудования
• Дисплей помогает в настройке и диагностике (опционально)
• Сверхчистая конструкция обеспечивает быстрое реагирование во время откачки
• Прочный, цельнометаллический, радиочастотный и помехоустойчивый модуль соответствует требованиям CE
• Компактное, удобное, надежное и экономичное измерение вакуума

Вакуумметр Micro-Ion ATM Серия 390

• Непрерывное измерение давления от 10^-9 торр до атмосферного
• Прецизионное измерение перепада давления в атмосфере
• Двойные нити датчика ионизации увеличивают время безотказной работы оборудования
• Дополнительные реле уставки для управления процессом
• Аналоговый, RS-485 или DeviceNet выход
• Опционально ЖК-дисплей

Вакуумметр Micro-Ion Plus 392

• Непрерывное измерение давления от 10^-9 торр до атмосферного
• Двойные нити ионизационного датчика, увеличивающие время безотказной работы оборудования
• RS-485 и DeviceNet имеют дополнительные реле уставки для управления процессом
• Автоматизация включения и выключения ионизационного датчика
• Сменный узел манометра для низкой стоимости владения

Комплект MicroPirani VACUUM SENSOR KIT 905

• Широкий диапазон измерений от атмосферы до 10^-5 торр.
• Три уставки открытого коллектора для расширенного управления процессом
• Удобное цифровое управление через главный процессор или компьютер
• Прочный твердотельный датчик устойчив к вибрациям и перегрузкам
• Стандартный 28-контактный разъем DIP для легкой интеграции
• Аналоговый выход 0,5 В постоянного тока на декаду