Винтовой насос Pfeiffer Vacuum серия COBRA BC 0601 G

• Усовершенствованный винт
• Безмасляный и бесконтактный принцип работы
• Уникальный «парящий подшипник»
• Консольная конструкция
• Прямое водяное охлаждение
• Полностью открытый протокол связи

Преимущества насосов COBRA BC

Pfeiffer Vacuum COBRA BC идеально подходят для задач в производстве полупроводников, особенно в загрузочных и передаточных камерах. Также они применяются в метрологии, литографии, физическом осаждении из газовой фазы, быстром термическом отжиге и травлении кремния.

Запатентованная конструкция самобалансирующегося винта обеспечивает минимальный уровень вибрации и бесшумную работу.

Серия COBRA BC изготавливается методом монолитного литья, что исключает наличие зазоров. Это делает невозможным попадание технологических жидкостей или частиц. Таким образом, предотвращается коррозия и образование отложений.

Насосы имеют раструбообразную консольную конструкцию: двойной ротор с винтами переменного шага крепится только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящего подшипника» позволяет отказаться от использования входных подшипников.
Таким образом, перекачиваемая среда не контактирует с подшипниками, что обеспечивает создание чистого вакуума.

Насосы оснащены передовой системой прямого водяного охлаждения, которая обеспечивает равномерное распределение тепла по всему корпусу. Это гарантирует термическую стабильность в процессе работы.

Благодаря простоте установки и настройки, насосы легко интегрируются в уже существующие системы.