Скорость форвакуумной откачки, м³/ч
:
1 - 70
Фланец (вход)
:
DN 63 CF-F; DN 63 ISO-K; DN 40 ISO-KF
Фланец (выход)
:
G 1/8"; DN 16 ISO-KF; DN 25 ISO-KF
Предельное давление, мбар
:
1·10⁻⁷; 1·10⁻⁸; 1·10⁻¹⁰
Тип охлаждения
:
Воздушное
Форвакуумный насос
:
Диафрагменный; Пластинчато-роторный; Спиральный
Скорость высоковакуумной откачки, л/с
:
35 - 67