Примеры моделей из каталога
| Модель | Скорость по N₂, л/с | Входное присоединение |
|---|---|---|
| Pfeiffer Vacuum HiPace 80 | 67 | DN 63 |
| KYKY FF-100/300E | 295 | DN 100 CF / DN 100 ISO-K |
| Pfeiffer Vacuum HiPace 1500 | 1450 | DN 250 |
Значения скорости приведены по азоту. Перед заказом уточняются стандарт фланца, исполнение, охлаждение и комплектация. Для другого газа насос подбирают по соответствующим характеристикам, а совместимость с камерой проверяют по полному обозначению соединения.
Как работает турбомолекулярный насос
В насосе чередуются вращающиеся лопатки ротора и неподвижные лопатки статора. Ротор передаёт молекулам газа импульс, направляя их к выходу. Последовательные ступени обеспечивают перенос и сжатие газа.
Форвакуумный насос отводит газ с выхода турбонасоса и поддерживает необходимое давление в этой части системы. Его выбирают с учётом газовой нагрузки и требований турбомолекулярного насоса.
Какие характеристики сравнивать
Скорость откачки показывает, какой объём газа насос удаляет за единицу времени при заданных условиях. В каталоге её обычно приводят по азоту. Для водорода, гелия и других газов значения могут отличаться.
Степень сжатия — отношение давления определённого газа на выходе насоса к его давлению на входе при оговорённых условиях. Этот показатель также зависит от газа. Для лёгких газов важно сравнивать и скорость откачки, и степень сжатия.
Предельное давление измеряют в условиях испытаний. В вашей камере результат зависит также от герметичности, чистоты, газовыделения, соединений и форвакуумной ступени. Паспортное значение не гарантирует такой же вакуум в любой установке.
Механические подшипники и магнитный подвес
| Исполнение | Особенность |
|---|---|
| Механические подшипники | Ротор опирается на подшипники качения. Тип смазки, монтажное положение и обслуживание определяются моделью. |
| Гибридный подвес | У рассматриваемых моделей HiPace объединяет шарикоподшипник со стороны форвакуума и постоянную магнитную опору со стороны высокого вакуума. |
| Активный магнитный подвес | Положение ротора поддерживает управляемая магнитная система. В штатном режиме отсутствует контакт в рабочих опорах и не требуется их смазка. |
Обслуживание каждого исполнения выполняют по инструкции производителя.
Как выбрать турбомолекулярный насос
Начните с требуемого давления в камере и состава газа. Затем определите газовую нагрузку, нужную скорость откачки и ограничения по подключению. При замене действующего насоса дополнительно проверяют совместимость управления и вспомогательного оборудования.
| Что сообщить | Для чего это нужно |
|---|---|
| Процесс и состав газа | Выбрать допустимое исполнение с учётом водорода, гелия, паров, реакционноспособных компонентов и возможных частиц. |
| Рабочее давление и газовая нагрузка | Оценить способность насоса поддерживать вакуум при поступлении газа, а не только достигать предельного давления без нагрузки. |
| Камера и соединения | Учесть объём камеры, требуемое время откачки, длину соединений и размер со стандартом входного фланца. |
| Форвакуумная ступень | Проверить модель имеющегося насоса, его характеристики и допустимое давление на выходе турбонасоса. |
| Условия установки | Согласовать охлаждение, монтажное положение, питание, управление и ограничения по вибрации. |
Для замены пришлите полное обозначение насоса, фото шильдика и данные контроллера. Совпадение размера фланца и скорости откачки само по себе не подтверждает взаимозаменяемость.
Где применяют турбомолекулярные насосы
| Применение | Задача вакуумной системы |
|---|---|
| Масс-спектрометрия | Поддержание вакуума в аналитических узлах прибора. |
| Электронная микроскопия | Создание необходимых вакуумных условий с учётом чувствительности прибора к вибрации. |
| Нанесение покрытий и микроэлектроника | Откачка технологических камер с подбором исполнения под газ и нагрузку. |
| Научные установки | Получение высокого и сверхвысокого вакуума для экспериментов и исследований. |
Для процессов с агрессивными газами, конденсируемыми парами или частицами пригодность стандартного насоса проверяют отдельно. Защиту, продувку и специальное исполнение согласуют под конкретный процесс.
Что входит в комплект турбомолекулярного насоса
Состав поставки зависит от модели и исполнения. При заказе согласуют сам насос, контроллер или встроенную электронику, блок питания и кабели. Отдельно проверяют охлаждение, крепления, уплотнения и необходимые клапаны.
Если требуется готовая система, дополнительно подбирают форвакуумный насос, соединения и средства измерения давления. Уже имеющееся оборудование проверяют на совместимость. В предложении должен быть перечислен весь согласованный комплект.
От чего зависит цена
Цена турбомолекулярного насоса зависит от скорости откачки, конструкции опор, фланца, исполнения для рабочей среды и комплектации. Для расчёта стоимости отправьте название модели или параметры установки. Срок поставки и условия гарантии уточняются в предложении на выбранное оборудование.
Подберём насос для вашей вакуумной системы
Укажите модель или опишите процесс. Для замены оборудования приложите фото шильдика, паспорт или данные установленного контроллера. Если часть параметров неизвестна, их можно уточнить при подборе.
Вопросы и ответы
Для работы требуется форвакуумная ступень, которая отводит газ с выхода турбонасоса. В составе откачного поста она может уже входить в комплект.
Скорость зависит от газа. Показатель по N₂ помогает сравнивать модели в одинаковых условиях. Для водорода или гелия нужно использовать отдельные характеристики.
Нет. Результат зависит от герметичности и чистоты камеры, газовой нагрузки, соединений и форвакуумного насоса. Предельное давление насоса приводят для определённых условий испытаний.
Предельное давление относится к высоковакуумной стороне насоса. Форвакуумное — к его выходу. Допустимое давление на выходе используют при согласовании с форвакуумной ступенью.
Выбор зависит от требований к вибрации, чистоте, газовой нагрузке и обслуживанию. У гибридного подвеса есть механическая опора; активный магнитный подвес удерживает ротор без контакта в рабочих опорах.
Это зависит от конструкции опор. Некоторые модели используют смазку подшипников на стороне форвакуума. Требование к безмасляной системе нужно проверять для всего комплекта, включая форвакуумный насос.
По газовой нагрузке, условиям установки и допустимому исполнению модели. Возможность воздушного или водяного охлаждения проверяют по документации; оно не всегда входит в базовую поставку.
Одного совпадения фланца недостаточно. Проверяют характеристики по нужному газу, контроллер, питание, охлаждение, монтажное положение и форвакуумную ступень.
Укажите модель либо процесс, требуемое давление, состав газа и известные параметры установки. Для замены приложите паспорт или фото шильдика. Цена рассчитывается для согласованного исполнения и комплекта.
Связанные разделы
Форвакуумные насосы · Откачные посты · Вакуумметры · Сервис оборудования
