Мин. регистрируемый поток Гелия (метод щупа)
:
1·10⁻⁹ Па м³/сек
Скорость форвакуумной откачки, м³/ч
:
35
Скорость откачки по Гелию, л/с
:
7
Макс. рабочее давление, мбар
:
15
Фланец (вход)
:
DN 40 ISO-KF
Время выхода на рабочий режим (20°C), мин
:
4,5
Метод испытаний
:
Вакуумный метод и метод щупа