Мин. регистрируемый поток Гелия (метод щупа)
:
5·10⁻¹⁰ Па м³/сек
Скорость форвакуумной откачки, м³/ч
:
1,8
Скорость откачки по Гелию, л/с
:
2,5
Макс. рабочее давление, мбар
:
100
Фланец (вход)
:
DN 25 ISO-KF
Время выхода на рабочий режим (20°C), мин
:
3
Метод испытаний
:
Вакуумный метод и метод щупа
Форвакуумный насос
:
Пластинчато-роторный