Винтовой насос Pfeiffer Vacuum COBRA DS 8161 F

• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем

Преимущества серии COBRA DS

Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.

В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значительно повысить скорость откачки и достичь максимального давления.

Запатентованная инновационная конструкция вакуумного насоса с самобалансирующимся винтом. Данная инновация обеспечивает отличную работу с порошками и высокое время безотказной работы.

Винты для насосов производятся методом цельного литья, что обеспечивает отсутствие зазоров. Это обеспечивает защиту от проникновения технологических жидкостей и частиц, что, в свою очередь, снижает риск коррозии и образования отложений.

Насосы используют эффективное непрямое водяное охлаждение. Благодаря этому можно контролировать распределение температуры по корпусу насоса. В любой момент возможно отреагировать на изменения в процессе.

Благодаря своей компактности, COBRA DS можно легко и быстро интегрировать в уже существующие системы.