Система обнаружения фоторезиста MKS Instruments 300 mm Resist-Torr XD

300-миллиметровый Resist-Torr XD использует технологию V-lens повышающую проверенную производительность 300 mm Resist-Torr до нового уровня чувствительности, селективности и уверенности в применении дегазации по сравнению с обычными квадрупольными масс-спектрометрическими анализаторами остаточных газов.

300 mm Resist-Torr XD преодолевает проблемы, возникающие при использовании таких сложных газов как аргон, которые не могут решить ограниченные возможности обнаружения обычных систем. В сочетании с уникальным PR-индексом от MKS, эта мощная платформа обеспечивает явное преимущество для контроля и обнаружения следовых газов. 

• Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр)
• Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
• Достоверное различие между газами и фоном
• 2-кратное улучшение абсолютной чувствительности - благодаря улучшенной фокусировке
• Полностью автоматизированный контроль рабочего процесса означает отсутствие необходимости в операторе

Технология V-lens

V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.

В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).

Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, ообеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).

Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.

Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.

Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.

Мониторинг дегазации сигнатурной массы

Пример из реальной жизни, когда контроль дегазации сигнатурной массы может быть достигнут только при использовании технологии V-lens, показан на рисунке. Исходная линия значительно снижена, что позволяет однозначно определить целевую массу. Это позволяет быстрее и проще идентифицировать следовые газы, что имеет решающее значение во многих производственных процессах.

Индекс PR и интеграция Fab

Когда система используется с мощными функциями пакета программного обеспечения сенсорного управления Process Eye и TOOLweb RGA, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное и чувствительное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается.

300-миллиметровый Resist-Torr XD учитывает множество различных параметров ступени дегазации и объединяет эти данные для предоставления информации в виде значимого числа без необходимости интерпретации пользователем. Это измерение, называемое индексом PR, является нормализованным показателем загрязнения фоторезиста с помощью пластин, который может быть представлен в различных формах для сравнения данных с течением времени.

300-миллиметровый Resist-Torr может автоматически прервать обработку любой пластины, без вмешательства оператора, если пластина входит в вакуумную систему с вредными уровнями остаточного фоторезиста, как определено индексом PR. Пример на изображении показывает трассировку индекса PR для серии тестовых пластин и предоставляет пользователю выборочный способ обнаружения образцов, указывающих на загрязнение. Индекс PR отображается в виде чёрной кривой на верхней линии, а уровень опасности-в виде желтой линии. Можно видеть, что черная линия PR поднимается, указывая на то, что она идентифицировала загрязненные пластины. Индекс PR позволяет использовать более чувствительный и надежный метод обнаружения загрязнения фоторезистом.