Анализатор остаточного газа MKS Instruments HPQ3

Анализ остаточных газов (АОГ) является обычным диагностическим инструментом для любого вакуумного инженера, но обычный верхний рабочий предел общего давления 1*10^-4 мбар является ограничительным для многих технологических применений. ОАГ HPQ3 позволяет работать до 0,001 Торр без необходимости дифференциальной накачки. Проверенная на практике технология анализатора HPQ в сочетании с новейшей инновационной электронной платформой, построенной из серии Microvision 2, обеспечивают качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. Полученная в результате система является менее сложной, с уменьшенными требованиями к установке, предлагая более высокий уровень надежности при существенно более низкой стоимости.

• Верхний рабочий предел полного давления 0,001 Торр
• Поиск течей в вакуумных линиях, трубопроводах охлаждающей жидкости, уплотнениях и сварочных швах
• Мониторинг загрязнений в камере, в том числе углеводородов
• Проверьте качество технологических газов

Технологическое лидерство АОГ

MKS была первой компанией, предложившей АОГ-совместимость с современными сетевыми установками на базе Ethernet. HPQ3 продолжает эту разработку до уровня, обеспечивающего высочайшую гибкость и возможность подключения благодаря использованию стандартного коммуникационного оборудования и программного обеспечения отрасли. HPQ3 оптимизирует функции, необходимые для сложного датчика, имея два выделенных процессора;

• Оптимизированный, собственный процессор для сбора данных
• Промышленный стандартный процессор операционной системы CE для внешних коммуникаций с использованием проверенной на практике технологии TCP-IP.

Преимущества такого подхода к проектированию заключаются в быстром и точном получении данных от надежного датчика АОГ с использованием отраслевых стандартных гибких протоколов связи. HPQ3 также предоставляет полный спектр дополнительных цифровых и аналоговых соединений для интеграции в системы с гибкими недорогими решениями.

Квадрупольный анализатор высокого давления

Новая РЧ конструкция HPQ3 охватывает диапазон масс 1-100 а.е.м. без ущерба для качества разделения газовых пиков при очень низкой или большой массе. Проверенная на практике конструкция квадрупольного анализатора высокого давления в HPQ3 сохраняет надежную и недорогую конструкцию источника ионов с двойными нитями. Это обеспечивает непрерывную бесперебойную работу без необходимости регулярной замены нитей до истечения их стандартного срока службы. HPQ3 можно использовать для процессов, где требуются данные до общего давления 1,3*10^-3 мбар.