Масс-спектрометры Pfeiffer Vacuum SPM

Благодаря устройству контроля напыления SPM 220, компания Pfeiffer Vacuum предлагает идеальное решение для качественного и количественного анализа газов в процессах напыления. Комбинация турбонасосной станции HiPace с масс-спектрометром с источником ионов SPM с дифференциальной перекачкой делает его идеальным для применения в диапазоне давлений до 10 гПа.

На рисунке показан схематический вид анализатора в сборе, соединенного с технологической камерой. Короткая широкая трубка образует соединение с технологической зоной. Источник ионов постоянно открыт в технологическую камеру, но не проходит внутрь нее.

Благодаря особой конструкции SPM 220 в ионизационной камере источника ионов поддерживается рабочее давление, а для нитей накаливания и остальной части масс-спектрометра поддерживается высокое разрежение. Источник ионов снабжен штуцерами для инжекции электронов и отвода ионов.

Это позволяет обнаружить даже незначительные примеси в технологическом газе с помощью активных газов. Это также эффективно предотвращает искажение показаний из-за обратной диффузии из камеры анализатора.

Обзор преимуществ:

• SPM ионный источник для мгновенного контроля процесса
• Превосходные пределы для обнаружения H₂, O₂, H₂O и CO₂
• Минимальное влияние фона на результат измерения
• Для непосредственного анализа, мониторинга и контроля процессов давления до 10^-2 гПа
• Многоканальная работа позволяет оценивать данные от нескольких масс-спектрометров с помощью одного ПК.
• Компактные размеры для гибкой интеграции
• Простая и гибкая системная интеграция благодаря разнообразию цифровых и аналоговых входов и выходов.