Анализатор остаточного газа MKS Instruments HPQ3S

Анализ остаточных газов (АОГ) HPQ3S позволяет работать до 0,008 Торр без необходимости дифференциальной перекачки. Проверенная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной электроникой Microvision 2 обеспечивает качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. Полученная в результате система является менее сложной, с уменьшенными требованиями к установке, предлагая более высокий уровень надежности при существенно более низкой стоимости. Кроме того, HPQ3S использует проверенные алгоритмы коррекции приложений, чтобы компенсировать изменение чувствительности, возникающее в результате ионно-молекулярных взаимодействий в источнике ионов при более высоких давлениях.

• Верхний рабочий предел полного давления 0,008 Торр
• Поиск течей в вакуумных линиях, трубопроводах охлаждающей жидкости, уплотнениях и сварочных швах
• Применение утвержденных алгоритмов коррекции для компенсации изменения чувствительности
• Проверьте качество технологических газов

Технологическое лидерство АОГ

MKS была первой компанией, предложившей АОГ-совместимость с современными сетевыми установками на базе Ethernet. HPQ3 продолжает эту разработку до уровня, обеспечивающего высочайшую гибкость и возможность подключения благодаря использованию стандартного коммуникационного оборудования и программного обеспечения отрасли. HPQ3 оптимизирует функции, необходимые для сложного датчика, имея два выделенных процессора;

• Оптимизированный, собственный процессор для сбора данных
• Промышленный стандартный процессор операционной системы CE для внешних коммуникаций с использованием проверенной на практике технологии TCP-IP.

Преимущества такого подхода к проектированию заключаются в быстром и точном получении данных от надежного датчика АОГ с использованием отраслевых стандартных гибких протоколов связи. HPQ3 также предоставляет полный спектр дополнительных цифровых и аналоговых соединений для интеграции в системы с гибкими недорогими решениями.

Конструкция квадрупольного анализатора высокого давления

Новая РЧ конструкция HPQ3 охватывает диапазон масс 1-100 а.е.м. без ущерба для качества разделения газовых пиков при очень низкой или большой массе. Проверенная на практике конструкция квадрупольного анализатора высокого давления в HPQ3 сохраняет надежную и недорогую конструкцию источника ионов с двойными нитями. Это обеспечивает непрерывную бесперебойную работу без необходимости регулярной замены нитей до истечения их стандартного срока службы. Для особых случаев применения под высоким давлением до 1*10^-2 мбар HPQ3S выполняет коррекцию в режиме реального времени, используя манометрическое давление от инструмента или используя различные дополнительные независимые датчики, установленные на специальной F-камере, разработанной для оптимальной работы с HPQ3S.

Регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном

Запатентованная регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном позволяет обнаруживать одиночные части диаграммы на миллион утечек или загрязнений в камере, даже когда одновременно измеряются основные газовые пики в диапазоне 10^-3 мбар. Это возможно при однократном сканировании или пиковом скачке сбора данных с интервалом менее 20 мс между максимальным и минимальным уровнями сигнала и без необходимости в дорогостоящем электронном умножителе, который нуждается в частой калибровке и замене.

• Предотвращает появление больших пиков от ложноположительных измерений на небольших пиках.
• Стабилизированные по температуре критические компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом основной линии позволяют использовать прибор без частой повторной калибровки, если вакуумная камера стабильна, но температура окружающего воздуха колеблется.
• Переменные условия датчика, чтобы соответствовать потребностям каждого процесса в различных условиях давления.
• Каждая оптимизированная конфигурация датчика отдельно сохраняется в АОГ и автоматически вызывается или калибруется по программным рецептам.
• Гибкая цифровая и аналоговая возможность ввода / вывода с выделенным портом датчика в стандартной комплектации.