Анализатор остаточных газов общего назначения e-Vision 2
Цена по запросу
Характеристики
Макс. рабочее давление, мбар
:
0,00013
Рабочая температура, °C
:
10 - 40
Область масс, а.е.м
:
1-100; 1-200
Детектор
:
Чаша Фарадея; чаша Фарадея с УВЭ
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
Анализ остаточных газов (АОГ) является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.
E-Vision 2 подходит для широкого спектра применений:
- Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах
- Диагностика вакуума
- Мониторинг откачки
- Мониторинг качества отжига
- Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере
- Мониторинг загрязнений в камере
- В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса
- В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки
Оборудование
СенсорПроверенные на практике анализаторы MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования.
Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10-14 мбар.
Электроника
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.
Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими.
Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды.
Встроенное web-приложение
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.
Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети.
С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2.
В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору.
Макс. рабочее давление, мбар
0,00013
Рабочая температура, °C
10 - 40
Область масс, а.е.м
1-100; 1-200
Детектор
Чаша Фарадея; чаша Фарадея с УВЭ
Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея
2,6 · 10⁻¹² гПа
Соединительный фланец
DN 40 CF-F
Чувствительность ионного источника, А/мбар
0,0002
Метод сбора данных
Специализированный процессор для сбора данных в режиме реального времени
Макс. скорость сбора данных
<3 мс на точку для аналоговых сканирований
_________________________________________________________________________________________________________________
_________________________________________________________________________________________________________________