Анализатор остаточных газов Microvision 2

В течение последнего десятилетия анализ остаточных газов стал надежной технологией, применяемой в автоматизированных процессах управления рабочей средой для обеспечения важной информацией технологов о возникающих в процессах ошибках и для предупреждения о выходе из-под контроля каких-либо параметров.

Microvision 2 - это новейшая инновация в технологии АОГ от MKS, разработанная для удовлетворения всех традиционных требований к датчику АОГ, но с возможностью сбора данных на скоростях, недостижимых с технологиями предыдущего поколения. Кроме того, Microvision 2 предназначен для сбора данных с миллисекундной скоростью на одну точку данных даже при измерении данных во всем динамическом диапазоне АОГ.

• Проверенная на практике конструкция квадрупольного масс-анализатора
• Более быстрые и точные ответы в замкнутых системах управления
• Регистрация данных с большой точностью на высоких скоростях
• Сигналы близкие к уровню шума все еще могут быть надежно измерены

Особенности анализатора MKS Microvision 2

Сенсор

Microvision 2 оснащаются двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладает:

• Более высоким сопротивлением к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром
• Более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах)
• Широким выбором ионных источников
• Двойные независимые нити в стандартной комплектации обеспечивают минимальное время простоя при критическом контроле технологического процесса
• Стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальной платой для регистрации парциального давления до 1*10^-14 мбар

Электроника

Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном:

• Препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими
• ­Температурно сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха
• Изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса
• Настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств
• Гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора

Применения

• Полупроводниковая промышленность
• Установки для нанесения крупных покрытий
• Высоковакуумные приложения
• Идеальный выбор для режима работы с высокими (в а.е.м.) массами
• Мониторинг загрязнений в камере
• Работа в жёстких внешних условиях
• В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки