Масс-спектрометрические установки MKS Instruments Vision 2000-C

Vision 2000-C включают в себя технологию АОГ "smart head" от Microvision 2 с закрытым источником ионов и впускным патрубком. Современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Сочетание закрытого источника ионов и автоматического входа позволяет осуществлять непрерывный контроль полного технологического цикла CVD или травления, от базового вакуума до технологических давлений до 700 Торр.

• Непрерывный мониторинг процессов CVD и травления на месте
• Контроль утечек воздуха и фонового загрязнения
• Программное обеспечение Process Eye Professional АОГ
• Может быть интегрирован с широким спектром инструментов CVD и травления
• Дистанционный вакуумный регулятор для безотказной работы в вакууме
• Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM

Vision 2000-C предназначен для отслеживания уровней различных видов газов во время процессов травления и очистки камеры, последовательностей пассивации и этапов осаждения для различных процессов CVD, включая:

• Нитрид титана (от TDMAT)
• Оксид тантала (из предшественника тантала)
• Медь (от CupraSelect)
• HDP low-k диэлектрических пленок
• Атомный слой CVD (ALD) и эпитаксия атомного слоя
• MOCVD
• Вольфрам и силицид вольфрама
• Реактивное ионное травление
• Плазменное травление
• Плазменное травление высокой плотности
• Микроволновое травление

Определение уровня промилле для следовых загрязнений

Благодаря максимальному соотношению между сигналами газов CVD или камеры травления и газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-C с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник обеспечивает обнаружение уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе. Анализатор закрытого ионного источника изготовлен из нержавеющей стали и высокоплотной глиноземной керамики, изготовленной в вакууме, и имеет независимо заменяемые двойные нити для обеспечения встроенной резервной копии в случае повреждения нити. Стандартная система включает в себя анализатор с двойным фильтром для повышенной чувствительности видов с большей массой, стойкости к загрязнению и повышенной долгосрочной стабильности.

Дистанционный вакуумный регулятор

Каждая система Vision 2000-C включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении.

Мобильная платформа АОГ

Vision 2000-C может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере.

Впускной клапан UniBloc

Эксклюзивный быстродействующий впускной клапан UniBloc позволяет производить отбор проб как при фоновом, так и при технологическом давлении через отверстия, выбранные для встречного давления. При отсутствии отбора проб клапан и анализатор автоматически изолируются от рабочей камеры и продуваются инертным газом. Продувка производится через насосные системы масс-спектрометра, а не через технологическую камеру. Продувка также используется во время прокаливания, сокращая начальное время запуска и остаточного времени восстановления фона. Впускной клапан управляется встроенной электроникой и по сценариям от Process Eye Professional. Выбор клапана производится автоматически с помощью независимого от газа датчика давления на входе UniBloc, который также обеспечивает считывание общего давления в рабочей камере в программном обеспечении Process Eye Professional.

Система автоматизированного проектирования использовалось для разработки Unibloc, чтобы иметь минимальные внутренние объемы и площади поверхности. Внутренние уплотнения - Kel-F для совместимости с технологическими газами CVD и травления. Внешние уплотнения выполнены полностью из металла. Конформная нагревательная рубашка обеспечивает контроль температуры, для минимизации осаждения внутри клапана и поддержания подвижности липких/полярных газов через входное отверстие.