Высокочувствительный анализатор остаточных газов MKS Instruments Vision 2000-PXD

Система Vision 2000-P XD предназначена для контроля критических видов газа при выбранном давлении, начиная от базового вакуума и заканчивая 10 Торр. Он идеально подходит для контроля целостности вакуума, уровня загрязнения или динамики рабочих газов в полупроводниковых и тонкопленочных технологических инструментах PVD, а также для оповещения операторов об условиях, которые могут негативно повлиять на выход продукта. Vision 2000-P XD также включает технологию V-lens, которая выводит проверенную производительность системы Vision 2000-P на новый уровень чувствительности и надежности, ранее недостижимый с обычными квадрупольными системами масс-спектрометрии.

• Контроль загрязнения PVD (включая углеводороды) до уровня ниже ppm
• Более чистый базовый уровень и низкий уровень шума
• Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
• Программное обеспечение Process Eye Professional для сбора, анализа и обработки данных
• Выбор давления и время отклика оптимизированы с помощью впускного клапана и опций отверстий

Технология V-lens

V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.

В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).

Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, обеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).

Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.

Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.

Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.

Закрытый источник ионов

Каждый Vision 2000-P XD включает в себя закрытый источник ионов и специальный впускной клапан с оптимизированной высокой проводимостью и низкой площадью поверхности к рабочей камере PVD. С помощью этого источника система может контролировать полный цикл процесса PVD, от базового вакуума до рабочего давления до 0,01 мбар, без необходимости снижения давления на входе.

Максимизируя соотношение между сигналами рабочего газа газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-P XD с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник в сочетании с V-lens обеспечивает низкий уровень обнаружения ppb для следовых загрязнений в рабочем газе.

Дистанционный вакуумный регулятор

Каждая система Vision 2000-P XD включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.).