Регулятор массового расхода MKS Instruments GM50A/GM51A
Контроллер GM50A & GM51A с цифровым управлением доступен с аналоговым или RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet вводом-выводом. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 500 миллисекунд. Все GM50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.
- Расход от 5 до 50 000 sccm
- Металлический уплотнитель с тефлоновым клапаном
- Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
- Стандартная скорость утечки закрытой проводимости менее 1% от полной шкалы
- Время реагирования менее 750 миллисекунд
Встроенный пользовательский интерфейс предоставляет возможность легко изменять диапазон устройств и пользовательский газ, что снижает требования к инвентарю. Можно контролировать работу контроллеров массового расхода и собирать данные о производительности на месте.
Включенная цифровая калибровка обеспечивает точность 1% от заданного значения с помощью калибровочного газа N2 для 20-100% от полного диапазона расхода. Точность заданного значения обеспечивает точное управление технологическим процессом по сравнению с точностью, заявленной относительно полной шкалы. Для массового расхода от 2 до 20 % полной шкалы точность составляет ±0,2 % полной шкалы.
_________________________________________________________________________________________________________________
_________________________________________________________________________________________________________________